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文檔簡(jiǎn)介
1、隨著科學(xué)的進(jìn)步和工業(yè)技術(shù)的發(fā)展,機(jī)械零件尤其是高精度設(shè)備核心零件質(zhì)量和精度都有顯著提高。主軸作為機(jī)械設(shè)備的核心零件,其精度對(duì)整個(gè)設(shè)備精度影響很大,主軸精度的提高也是精密加工的關(guān)鍵技術(shù)。液體靜壓軸承和氣體靜壓軸承的應(yīng)用,使得主軸的精度得到很大提高,達(dá)到亞納米精度,而且隨著超精密加工技術(shù)、納米技術(shù)、尖端技術(shù)的發(fā)展,未來回轉(zhuǎn)零件的回轉(zhuǎn)誤差將會(huì)達(dá)到50nm-5nm甚至更高。主軸和回轉(zhuǎn)體類零件精度的提高,也相應(yīng)提高了這類零件誤差測(cè)量技術(shù)的難度。主
2、軸回轉(zhuǎn)誤差技術(shù)的測(cè)量過程中,回轉(zhuǎn)軌跡不能直接測(cè)量,只能間接測(cè)量回轉(zhuǎn)體的外圍信號(hào),這就不可避免的混入了零件的形狀誤差。所以必須對(duì)高精密主軸的誤差分離技術(shù)進(jìn)行分析和研究。
本文介紹了反轉(zhuǎn)法、數(shù)理統(tǒng)計(jì)法、三點(diǎn)法、四點(diǎn)法、多步法幾種經(jīng)典誤差分離技術(shù)原理,并對(duì)比了幾種分離方法的優(yōu)缺點(diǎn)和適用場(chǎng)所。同時(shí)從實(shí)際測(cè)量安裝過程中,理論分析實(shí)驗(yàn)裝置的安裝誤差對(duì)幾種分離方法分離結(jié)果的影響,對(duì)比了在實(shí)際測(cè)量過程中,影響分離結(jié)果的主要因素。同時(shí)針對(duì)三點(diǎn)法
3、提出了一種簡(jiǎn)化傳感器安裝過程、減小傳感器定位誤差改良措施,并用實(shí)驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證。本文主要完成工作如下:
1.介紹了反轉(zhuǎn)法、數(shù)理統(tǒng)計(jì)法、三點(diǎn)法、四點(diǎn)法、多步法幾種經(jīng)典誤差分離方法的原理,在精度、安裝、在線測(cè)量等方面對(duì)幾種分離技術(shù)進(jìn)行對(duì)比。對(duì)圓度誤差評(píng)定技術(shù)和回轉(zhuǎn)誤差評(píng)定技術(shù)進(jìn)行總結(jié),確定了回轉(zhuǎn)誤差和圓度誤差采用的誤差評(píng)定方法。
2.通過單一變量法,分別研究了傳感器安裝中的定位誤差、傾斜度誤差、錯(cuò)位誤差對(duì)幾種誤差分離技術(shù)誤差
4、分離精度的影響,回轉(zhuǎn)體的安裝過程中的偏心誤差、定位誤差對(duì)誤差分離技術(shù)分離結(jié)果的影響??偨Y(jié)出反轉(zhuǎn)法精度低的原因,以及影響三點(diǎn)法分離精度最主要因素是傳感器的安裝誤差。
3.針對(duì)傳感器安裝誤差是影響三點(diǎn)法誤差分離精度的主要原因,借鑒 Grejda反轉(zhuǎn)法提出一種三點(diǎn)法的改良措施,完成該方法的三維簡(jiǎn)圖、原理介紹、優(yōu)缺點(diǎn)分析、平臺(tái)搭建。
4.通過在氣浮回轉(zhuǎn)平臺(tái)和小型轉(zhuǎn)子上的實(shí)驗(yàn),利用LBAVIEW軟件設(shè)計(jì)的回轉(zhuǎn)誤差檢測(cè)系統(tǒng),驗(yàn)證
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