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文檔簡介
1、微機電系統(tǒng)MEMS(Micro ElectromechanicalSystem)自身存在高集成度、高可靠性、低成本等固有特點，自出現(xiàn)以來，得到了不斷的發(fā)展。由于數(shù)字化進程的不斷深入，MEMS傳感器集成電路的數(shù)字化也讓其性能在理論上得到了大幅度提升。對磁強計等MEMS領域的傳感器而言，其數(shù)字結構的系統(tǒng)架構中都要使用到高精度的sigma-delta DAC。因此設計一款適用于磁強計等傳感器數(shù)字結構中的sigma-delta DAC，不論在理
2、論上還是應用上都具有重要意義。本課題來源于哈爾濱工業(yè)大學MEMS中心。本課題研究的sigma-delta DAC作為磁傳感器數(shù)字化的一個重要做成部分，將來還要進行改進改良，以適用于微機械陀螺等傳感器電路的需要。
本文首先介紹了整個sigma-delta DAC的工作原理及各個模塊的結構組成，而后又對各個模塊的原理進行了基本的闡述。主要對數(shù)字插值濾波器原理、數(shù)字調制器原理以及模擬部分的原理做了簡要說明。在此之后，本文分別設計si
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