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1、蘇州大學(xué)博士學(xué)位論文單、雙頻激發(fā)的容性耦合等離子體診斷實驗研究姓名:虞一青申請學(xué)位級別:博士專業(yè):凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師:寧兆元;辛煜201109中文摘要單、雙頻激發(fā)的容性耦合等離子體診斷實驗研究先略增強,隨后持續(xù)下降。對探針與光譜結(jié)果之間的不一致行為進(jìn)行了分析,認(rèn)為高頻的升高將引起電子能量分布函數(shù)的轉(zhuǎn)變,在低頻功率施加之后表現(xiàn)了出來。研究了41/2MHz的時的容性放電中氣壓的影響,結(jié)果顯示電子溫度總體上隨氣壓上升而下降。電子密度隨著氣壓的
2、增加而先上升后降低。在高氣壓下,較大的低頻功率使電子溫度顯著降低。這被認(rèn)為是放電模式(0【模式和Y模式)發(fā)生轉(zhuǎn)變所導(dǎo)致的。隨著氣壓的升高,不同低頻功率的施加對電子能量分布產(chǎn)生了不同的影響。3使用懸浮雙探針和發(fā)射光譜對60/2、60/1356MHz雙頻組合的氮氣容性放電進(jìn)行了實驗研究。發(fā)現(xiàn)在高氣壓下,60/1356MHz和60/2MHz雙頻放電特性出現(xiàn)了顯著不同。在60/2MHz放電中,在高氣壓和大的低頻功率條件下,電子密度和光譜強度出現(xiàn)
3、了反常增強。通過對電子密度、溫度及光譜強度的分析,認(rèn)為此時發(fā)生了放電模式的轉(zhuǎn)變,導(dǎo)致基態(tài)氮離子N2∞密度的升高及隨后氮離子譜線的反常增強。激發(fā)態(tài)氮離子N2(B)主要來自于電子對基態(tài)氮離子N2()()的激發(fā)。通過擬合轉(zhuǎn)動光譜計算了N2的雙頻放電中分子、離子的轉(zhuǎn)動溫度。隨著低頻功率和氣壓的增加,分子、離子的轉(zhuǎn)動溫度都呈上升趨勢。60/2MHz放電中離子溫度明顯高于60/1356MHz放電,而不同低頻對分子轉(zhuǎn)動溫度的影響不大。討論了不同低頻對
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