溫度及摩擦對(duì)光柵刻劃?rùn)C(jī)定位精度影響的研究.pdf

1、衍射光柵作為光譜儀器中的核心器件，在各領(lǐng)域中有著越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。機(jī)械刻劃是衍射光柵制造的重要方式，主要依靠光柵刻劃?rùn)C(jī)完成。作為機(jī)械領(lǐng)域中最精密的儀器之一，光柵刻劃?rùn)C(jī)不僅結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且影響其精度的因素很多。光柵刻劃?rùn)C(jī)的定位精度是影響光柵性能的重要因素，論文重點(diǎn)研究了環(huán)境溫度和摩擦對(duì)光柵刻劃?rùn)C(jī)定位精度的影響，具體完成工作內(nèi)容如下:
　　(1)為了研究環(huán)境溫度變化對(duì)定位精度的影響規(guī)律，建立了光柵刻劃?rùn)C(jī)定位系統(tǒng)的模型，采用有限元法進(jìn)行熱

2、變形分析，計(jì)算了定位系統(tǒng)的變形量與溫度變化量之間的關(guān)系。得到了在光柵刻劃過(guò)程中，環(huán)境溫度控制在±0.01℃可以保證光柵刻劃?rùn)C(jī)定位精度的結(jié)論。
　　(2)在粗定位過(guò)程中，計(jì)算了外工作臺(tái)與導(dǎo)軌、滾珠絲杠副、軸承發(fā)熱量以及定位系統(tǒng)中重要部件的自然對(duì)流換熱系數(shù)。通過(guò)熱-結(jié)構(gòu)耦合分析研究不同工況下各熱載荷對(duì)定位精度的影響，得出對(duì)定位精度影響最大的因素是來(lái)源于滾珠絲杠副的發(fā)熱量。
　　(3)對(duì)滾珠絲杠副中滾珠圈數(shù)、公稱直徑、導(dǎo)程這三個(gè)參