原位實時熱處理與表征系統(tǒng)研究.pdf

1、相圖是材料結(jié)構(gòu)-成分-熱學(xué)條件的關(guān)聯(lián)圖，完整的相圖包含了系統(tǒng)性的成分空間，具體的物相鑒定信息，完備的熱力學(xué)條件以及全部的相邊界曲面。傳統(tǒng)的材料相圖研究是一次實驗研究一個樣品，將大量重復(fù)性實驗得到數(shù)據(jù)匯編而成。原位實時熱處理與表征方法是利用高通量組合材料芯片研究材料相圖，其基本原理是用不同的材料成分，在一塊基片上同時集成生長大量不同組分的材料，通過自動化的微區(qū)表征實現(xiàn)快速、高效、準(zhǔn)確的材料特性描述及完成材料相圖的繪制。
　　本研究從

2、組合材料芯片的設(shè)計到微區(qū)樣品物相改變的檢測，完成了組合材料芯片的制備以及激光實時熱處理與溫度表征系統(tǒng)的基本設(shè)計與研究。系統(tǒng)又可以簡單的分為兩個部分，激光熱處理部分和表征部分，具體來講激光加熱系統(tǒng)需要完成對合金薄膜微區(qū)樣品的定量均勻溫升，即在微區(qū)樣品內(nèi)以一定溫度間隔均勻升溫。通過基本的熱傳導(dǎo)理論，分析了激光加熱單個微區(qū)薄膜樣品的溫升，并利用數(shù)值模擬的方式研究了激光加熱微區(qū)樣品的溫度分布情況，從而得出了合適的激光輻照功率區(qū)間以及基底端輻照升