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1、缺陷及其所帶來(lái)的影響是IC芯片失效的主要原因.為提高激光探測(cè)系統(tǒng)對(duì)晶片上微粒缺陷的檢測(cè)能力,本文建立了平面上球形粒子的數(shù)理模型,通過(guò)對(duì)此模型下的散射理論研究和散射場(chǎng)數(shù)據(jù)的可視化研究,獲得了直觀易懂的散射場(chǎng)分布圖像,從而為工程師設(shè)計(jì)出靈敏而有效的診斷工具提供了有力的幫助.在散射理論的研究上,從用于粒子光散射計(jì)算的T矩陣方法的推導(dǎo)出發(fā),并依據(jù)軸對(duì)稱粒子的特點(diǎn),對(duì)T矩陣進(jìn)行了簡(jiǎn)化和變形,在考慮平面對(duì)粒子散射帶來(lái)的影響時(shí),引入反射矩陣來(lái)表達(dá)這種
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