NO在Al（100）面吸附的第一性原理研究及Si在Si（100）面擴(kuò)散的分子動(dòng)力學(xué)研究.pdf

1、小分子在金屬表面的吸附是表面科學(xué)的重要課題，NO的吸附，尤其是研究的熱點(diǎn)。用基于密度泛函理論的第一性原理方法研究了NO在Al(100)面的吸附，計(jì)算了NO在各個(gè)高對(duì)稱位置吸附后的優(yōu)化結(jié)構(gòu)，結(jié)合能，以及NO鍵長(zhǎng)的變化等。研究發(fā)現(xiàn)，NO在空位上是解離吸附的，解離后得到的N原子和O原子分別與底層的Al原子成鍵，這與實(shí)驗(yàn)結(jié)果是一致的。另外還發(fā)現(xiàn)了兩個(gè)亞穩(wěn)態(tài)，指出在室溫下，NO也可能在這兩個(gè)位置解離。在解離的情況下，又研究了體系的態(tài)密度，投影態(tài)密

2、度，電荷密度等電子結(jié)構(gòu)特性。我們認(rèn)為Al(100)向NO的電荷轉(zhuǎn)移，以及NO與底層Al原子的軌道雜化可能是導(dǎo)致NO解離的原因?！　⊙芯吭釉赟i表面的擴(kuò)散在薄膜生長(zhǎng)中有重要意義，原子的擴(kuò)散路徑，擴(kuò)散的快慢都對(duì)薄膜生長(zhǎng)有重要影響。用分子動(dòng)力學(xué)方法研究了高溫下(1200K)Si原子在Si(100)面的擴(kuò)散，發(fā)現(xiàn)了Si原子在垂直于二聚體排方向的新的擴(kuò)散方式，即Si原子先與二聚體排上的原子進(jìn)行交換，而后二聚體排上的原子進(jìn)入槽內(nèi)，而不是以往認(rèn)為