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文檔簡介
1、隨著新材料和微納加工技術(shù)的發(fā)展，噴墨打印朝著高精度、低功耗方向迅速發(fā)展，并在精密制造、生物工程等領(lǐng)域獲得了應(yīng)用。熱氣泡式噴墨打印是利用熱生長的氣泡產(chǎn)生的壓力將噴墨腔室中的墨水?dāng)D出噴嘴形成墨滴，是噴印的主流技術(shù)之一。本課題組前期利用碳納米管一維結(jié)構(gòu)的限熱效應(yīng)，研制出以碳納米管為加熱元件的低功耗微氣泡發(fā)生器，本文以石墨烯取代傳統(tǒng)金屬作為碳納米管微氣泡發(fā)生器的電極，擬構(gòu)建更低功耗的熱噴印頭。
本文研制的基于石墨烯-碳納米管復(fù)合結(jié)構(gòu)微
2、氣泡發(fā)生器的熱噴印頭由包含微氣泡發(fā)生器陣列的玻璃基片和加工了微流體結(jié)構(gòu)的硅基片鍵合而成，每個噴印單元包含兩個微氣泡發(fā)生器和兩個監(jiān)測微氣泡發(fā)生器溫度環(huán)境的碳納米管溫度傳感器。主要研究了基于紫外光刻和感應(yīng)耦合等離子刻蝕的硅基底的高深寬比三維微流體結(jié)構(gòu)的微加工工藝，得到了表面平坦和垂直度較好的微結(jié)構(gòu)，噴嘴的最小直徑為10μm；研究了以石墨烯為中間層的硅-玻鍵合工藝，得到了完整的熱噴印頭結(jié)構(gòu)；最后利用課題組研制的熱噴印頭驅(qū)動及測試系統(tǒng)研究了熱噴
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