外文翻譯--微探針陣列零件的注射成型(譯文）

1、 1中文 中文 4140 4140 字出處： 出處：Journal of Polymer Research (2006) 13: 25–32微探針陣列零件的注射成型Pei-Chi Chang Sheng-Jye Hwang1.概述安裝在內(nèi)窺鏡中的尖的探針陣列可以穿透腸胃里面的癌細胞。然后提供藥物或基因進入細胞進行針對性的根治。在這個研究中，制備了兩個探針模型。第一個模型是基于單晶硅的探針陣列（高度 80mm，寬高比 0.17，密度 7

2、80/ ） ，由 KOH 濕蝕刻制 cm2作。第二個模型是基于不銹鋼的材料來制作的，這是由 WEDG 制作和組裝的針灸針（高度 890mm，長寬比 0.45） 。插電鑄模具使用鎳作為材料。高黏度的 PC 和通用 PP 被用來通過注射成型模具探針零件。在實驗中，非常成功的制作了 PP 微型探針通過注射壓縮成型。田口方法被認為接近最佳的處理參數(shù)和對注塑壓縮成型做出了貢獻。2.介紹顯微組織材料在汽車，航空器，生化，測量，信息技術(shù)以及醫(yī)療衛(wèi)生等

3、方面有有廣泛的應(yīng)用。顯微組織的周圍的數(shù)量級是微米級別的，表面的粗糙度的要求超過亞微米。為了滿足這些條件，非常規(guī)的制造技術(shù)，例如基于硅的 IC 處理技術(shù)是一些用于制造微結(jié)構(gòu)部件的首要選擇。在 IC 制造中，硅最常用的地方在于制造薄膜和膜結(jié)構(gòu)。硅有一定的優(yōu)勢，比如積分電路的兼容，還有良好的機械性能。如果材料要求具有光學(xué)延展性，耐化學(xué)性，無蛋白質(zhì)的吸收以及批量生產(chǎn)，熱塑性聚合物成型是首先選擇的技術(shù)。安裝在內(nèi)窺鏡探針陣列的是很尖銳的一部分，可以

4、穿透在腸胃里面的癌細胞，然后提供治療藥物或基因進入細胞。人類的細胞直徑是 20-30mm。要想穿透 2-3 層細胞或者外延真皮，微型探針的適當(dāng)高度是 50-59mm。體微加工的主流技術(shù) FAB-rication 生產(chǎn)出的一批柱石。使用單晶硅晶體和各向異性蝕刻劑可以制造尖銳的探針或凹槽。然而在使用單晶硅的過程中有兩個限制。第一個是通過蝕刻參數(shù)的控制對高度和縱橫比的微探針限制。第二個是吸收的蛋白質(zhì)并不適合蛋白質(zhì)基因或溶液的單晶硅芯片。聚合物

5、的一般成型技術(shù)是熱壓成型，反應(yīng)注射成型，注射成型或注射壓縮成型。3到。探針陣列的圖案是矩形。P 和 D 是間距和圓底座的直徑。濕法蝕刻工藝會出現(xiàn)削弱效應(yīng)，受此影響，微型探針陣列可以直接用于硅制造。首先，模型被復(fù)制到由二氧化硅制作的 G1009 晶圓上。然后，用蝕刻劑 KOH 來蝕刻晶片和削弱效果。只要形成探針針尖，晶片從蝕刻劑中取出。由于天然的非均勻性和不準(zhǔn)確操作。必須過度腐蝕。以確保大柱石的形成。但是過度腐蝕將會縮短探針的高度。通過這

6、樣的技術(shù)，微探針的縱橫比是 1.7 和曲率半徑是 0.1mm。當(dāng)用 KOH 制造凹凸結(jié)構(gòu)，水平面{411}和{311}將被形成在凸型角部的{8}?；w雖然加入 IPA，可以減少削弱影響，新的凸角面{212}將會形成。在{212}上的粗糙度是{100}面上的 79 倍。比{11}面大七倍。比{311}面大九倍。{212}面是不適合注射成型的。KOH 的蝕刻速率的主要參數(shù)是濃度和溫度。當(dāng)濃度在 4M 周圍的時候，蝕刻速率在{100}面上是最

7、快的。即，大約 80-C 在 1.2 毫米每分鐘周圍。作為負面效應(yīng)，表面粗糙度降低。例如，80-C，用 8MKOH，表面粗糙度將會小于 100nm。為了得到更好的表面粗糙度插入物，百分之 45 的 KOH 來進行蝕刻 G1009 硅。由于許多平面出現(xiàn)在凸角，蝕刻速率不是線性的。并不容易測量或估計蝕刻速率的削弱。使用光學(xué)顯微觀察蝕刻狀態(tài)，通過反復(fù)試驗，來確保探針的形成。隨著 45 重量的條件，平均探針的高度大約在 50 毫米。在模式 2

8、中，當(dāng)使用的平均高度的微探針是 80 毫米，直徑 D 和高度的比率的微探針大約是 3.75。D 的大小是 300 毫米和 P 為350 毫米。4.不銹鋼的主體另一種類型的探針，這是復(fù)制主體型的針灸針，后來發(fā)展到研究探針的能力。為了解決針灸針。1 個微孔用不銹鋼板制作，然后，ACU 的穿刺針插入小孔并切斷端部側(cè)。微探針的底部直徑大約是 190 毫米和高度是 890 毫米。雖然與規(guī)模探針相比有一些大，但是，在微硅探針里面，在注塑模具過程中，