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文檔簡介
1、ANovelBuiltinCMOSTemperatureSensfVLSICircuitsWangNailongZhangShengZhouRunde(InstituteofMicroelectronicsTsinghuaUniversityBeijing100084China)Abstract:Anoveltemperaturesensisdevelopedpresentedespeciallyfthepurposeofonlinet
2、hermalmonitoringofVLSIchips.Thissensrequiresverysmallsiliconarealowpowerconsumptionthesimulationresultsshowthatitsaccuracyisintheorderof018℃.TheproposedsenscanbeeasilyimplementedusingregularCMOSprocesstechnologiescanbeea
3、silyintegratedtoanyVLSIcircuitstoincreasetheirreliability.Keywds:temperaturesensthermaltestabilityfrequencyoutput.EEACC:1265A25602570DCLCnumber:TN47Documentcode:AArticleID:025324177(2004)03202522051IntroductionDuetothead
4、vancesinthefabricaionprocessfieldofintegratedcircuitsthecomponentdensitytheoverallpowerdissipationofthehighperformanceVLSIchipsincreasecontinuously.Atthebeginningofthiscenturythepowerdissipatedinasinglechiphasexceeded100
5、Wtightlypackedchipassembliesasthemultichipmodulescanevendissipatethousswatts.Therefethethermalstateofintegratedcircuitshasbeenalwaysagreatproblemconcernedisconsideredasabottleneckinincreasingtheintegrationofelectronicsys
6、tems.Toovercomethisproblemmanyresearchersdevelopedlow2powerdesigntechniquesfVLSIsystems.Indertoavoidthermaldamagescontinuousthermalmonitingshouldbeappliedduringboththeproductionreliabilitytestingthefieldoperation.Aneffic
7、ientwayistobuildtemperaturesenssintoallVLSIchipswiththeappropriatecircuitryprovidingeasyreadout.InsomeearlierwkstheresearchersusedtheparasiticlateralsubstratebipolartransistswhichcanberealizedinmostoftheCMOSprocessesasth
8、ermalsensors.TheseareusuallyPTATsenss.TheweaknessofthesesensisthatthebipolarstructuresarenotwellacterizedinaMOSprocess.ThusalthoughtheycanprovideasatFig.1Temperaturesensdesignedbasedonavoltage2controlledrelaxationoscilla
9、t3.1VoltageoutputsensOurvoltageoutputsenscircuitexploitsthetemperaturedependenceofthemosimptantparameteroftheMOStransistnamelythethresholdvoltage(VT).Thethresholdvoltagehasanegativetemperaturecoefficientas:VT(T)=VT(T0)a(
10、TT0)(1)whereaisthetemperaturecoefficientwithatypicalvalueof118mVKinCMOS0135Lm5VtechnologyVT(T0)isthevalueofthethresholdvoltageattemperatureT0.AsshowninFig.1thevoltageoutputsensisathresholdvoltagereferencecell.Thepchannel
11、transistsP1P2constituteacurrentmirr.ThecurrentoftransistN1ismirredtotansistsN2N3N4.ThevoltageonthesetransistsisfedbacktothegateofN1.ForeasycalculatingwechooseasamesizeofthetransistsN2N3N4(BN2=BN3=BN4)wechooseappropriates
12、izeoftheothertransiststoensurethatthetransistorsP1P2N1N2N3N4areallinthestateofsaturation.Thentheoutputvoltagesofthissensorareindirectproptiontothethresholdvoltagelinearwithtemperaturetheirvaluesare:VH=VT(12KP12KP123KN12)
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