hbsw-cob-wi054 離子風(fēng)槍作業(yè)指導(dǎo)書a1

1、離子風(fēng)槍作業(yè)指導(dǎo)書適用產(chǎn)品型號：COBCOB系列通用工序定義：上工序：無下工序：無文件編號：HBSWCOBWI054標準工時：15S15S圖示說明操作說明物料、輔料名稱用量一、作業(yè)前準備：項次名稱料號用量1.設(shè)備清潔，確保設(shè)備表面及臺面整潔，2.使用前確認氣壓是否干凈（不允許含有臟污，水份）等；吹出來的產(chǎn)品Die表面臟污多說明氣壓不干凈，不可使用設(shè)備工、治具3.作業(yè)時需帶靜電手環(huán)，檢查高效過濾器有無異常；項次名稱數(shù)量1離子風(fēng)槍1二、作業(yè)

2、步驟：1.打開離子風(fēng)槍電源開關(guān)，2.準備好的晶圓產(chǎn)品，用左手從料盒里拿出，產(chǎn)品從上往下依次作業(yè)（圖一)；工藝參數(shù)3.右手握住離子風(fēng)槍，按住離子開關(guān)后，紅色指示燈亮?xí)W一下（離子風(fēng)正常），按照產(chǎn)品垂直方向斜80度作業(yè)，離子風(fēng)槍對準產(chǎn)品方向左右來回三次，上下來回二次，離子風(fēng)槍口離產(chǎn)品1020CM內(nèi)作業(yè)（圖二，圖三，完成時間8秒；4.確認第一片作業(yè)完后，在顯微鏡下檢查Die表面有無臟污臟點作業(yè)標準5.按照流程每片產(chǎn)品重復(fù)以上作業(yè)，檢驗合格后方

3、可流入下一工序去除晶圓表面移動臟污、微小顆粒（圖三）6.離子風(fēng)吹半成品，重復(fù)3步驟完成作業(yè)（圖四）；去除底座表面移動臟污（圖四）7.離子風(fēng)吹鏡頭使用吹鏡頭治具左手按住鏡頭治具重復(fù)步驟3完成作業(yè)(圖五)去除鏡頭螺紋臟污和表面臟污（圖五）8.離子風(fēng)吹FF底座連體馬達使用吹鏡頭治具左手握住治具重復(fù)步驟3作業(yè)手去除底座馬達鏡頭表面臟污（圖六）法完成作業(yè)(圖六).三、注意事項：修訂發(fā)布記錄1.放取產(chǎn)品時需輕拿輕放；版次修訂發(fā)布摘要日期2.檢查設(shè)備

4、有無異常，高效過濾器出現(xiàn)發(fā)黃或變色，需更換過濾器A0初次發(fā)布201311233.使用完風(fēng)槍后要放到桌面指定的位置，防止風(fēng)槍掉到地面摔壞.A1增加鏡頭離子風(fēng)作業(yè)2014410審批欄：編制：審核：批準：生效日期：20144102014410頁碼：111圖一離子風(fēng)槍圖二離子風(fēng)槍開關(guān)圖三晶圓作業(yè)手法圖五鏡頭作業(yè)手法圖六FF馬達作業(yè)手法高效過濾器圖四半成品作業(yè)手法離子風(fēng)槍作業(yè)指導(dǎo)書適用產(chǎn)品型號：COBCOB系列通用工序定義：上工序：無下工序：無文

5、件編號：HBSWCOBWI054標準工時：15S15S圖示說明操作說明物料、輔料名稱用量一、作業(yè)前準備：項次名稱料號用量1.設(shè)備清潔，確保設(shè)備表面及臺面整潔，2.使用前確認氣壓是否干凈（不允許含有臟污，水份）等；吹出來的產(chǎn)品Die表面臟污多說明氣壓不干凈，不可使用設(shè)備工、治具3.作業(yè)時需帶靜電手環(huán)，檢查高效過濾器有無異常；項次名稱數(shù)量1離子風(fēng)槍1二、作業(yè)步驟：1.打開離子風(fēng)槍電源開關(guān)，2.準備好的晶圓產(chǎn)品，用左手從料盒里拿出，產(chǎn)品從上往

6、下依次作業(yè)（圖一)；工藝參數(shù)3.右手握住離子風(fēng)槍，按住離子開關(guān)后，紅色指示燈亮?xí)W一下（離子風(fēng)正常），按照產(chǎn)品垂直方向斜80度作業(yè)，離子風(fēng)槍對準產(chǎn)品方向左右來回三次，上下來回二次，離子風(fēng)槍口離產(chǎn)品1020CM內(nèi)作業(yè)（圖二，圖三，完成時間8秒；4.確認第一片作業(yè)完后，在顯微鏡下檢查Die表面有無臟污臟點作業(yè)標準5.按照流程每片產(chǎn)品重復(fù)以上作業(yè)，檢驗合格后方可流入下一工序去除晶圓表面移動臟污、微小顆粒（圖三）6.離子風(fēng)吹半成品，重復(fù)3步驟完

7、成作業(yè)（圖四）；去除底座表面移動臟污（圖四）7.離子風(fēng)吹鏡頭使用吹鏡頭治具左手按住鏡頭治具重復(fù)步驟3完成作業(yè)(圖五)去除鏡頭螺紋臟污和表面臟污（圖五）8.離子風(fēng)吹FF底座連體馬達使用吹鏡頭治具左手握住治具重復(fù)步驟3作業(yè)手去除底座馬達鏡頭表面臟污（圖六）法完成作業(yè)(圖六).三、注意事項：修訂發(fā)布記錄1.放取產(chǎn)品時需輕拿輕放；版次修訂發(fā)布摘要日期2.檢查設(shè)備有無異常，高效過濾器出現(xiàn)發(fā)黃或變色，需更換過濾器A0初次發(fā)布201311233.使用