半導體材料高效放電切割技術(shù)

1、半導體材料高效放電切割技術(shù)單位：南京航空航天大學地址：南京市御道街29號郵編：210016聯(lián)系人：汪煒電話：02584895718電子信箱：wangwei@nuaa.成果簡介：半導體材料高效放電切割是一種低成本高效的特種加工技術(shù)。該技術(shù)的創(chuàng)新研究得到江蘇省高技術(shù)研究計劃重大項目的資助。它采用高熔點的鎢或鉬絲作為電極，通過局部放電產(chǎn)生的高溫瞬時熔解、氣化半導體材料，通過對電極絲的軌跡控制，可以實現(xiàn)切片，成形等工藝方法。在太陽能、微電子、生

2、物醫(yī)療以及航空航天領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景。技術(shù)特點：根據(jù)半導體材料放電機理，研究開發(fā)出高效脈沖電源技術(shù)，可高效切割各種摻雜、本征半導體材料以及其他半導體材料如藍寶石、金剛石等，屬國際領(lǐng)先水平；可實現(xiàn)大尺寸、超薄半導體襯底高效切割；可實現(xiàn)各種形狀的半導體器件高效加工。合作方式：技術(shù)轉(zhuǎn)讓、合作開發(fā)。半導體材料高效放電切割技術(shù)單位：南京航空航天大學地址：南京市御道街29號郵編：210016聯(lián)系人：汪煒電話：02584895718電子信箱：wan

3、gwei@nuaa.成果簡介：半導體材料高效放電切割是一種低成本高效的特種加工技術(shù)。該技術(shù)的創(chuàng)新研究得到江蘇省高技術(shù)研究計劃重大項目的資助。它采用高熔點的鎢或鉬絲作為電極，通過局部放電產(chǎn)生的高溫瞬時熔解、氣化半導體材料，通過對電極絲的軌跡控制，可以實現(xiàn)切片，成形等工藝方法。在太陽能、微電子、生物醫(yī)療以及航空航天領(lǐng)域有良好的應(yīng)用前景。技術(shù)特點：根據(jù)半導體材料放電機理，研究開發(fā)出高效脈沖電源技術(shù)，可高效切割各種摻雜、本征半導體材料以及其他半