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文檔簡(jiǎn)介
1、目錄目錄摘要.............................................................................................................................IABSTRACT................................................................................
2、..................................II1緒論........................................................................................................................12激光泰曼干涉儀原理和特點(diǎn)...............................................
3、.................................12.1總體結(jié)構(gòu)和特點(diǎn)................................................................................................12.2光學(xué)系統(tǒng)的各種干涉條紋及成像原理............................................................
4、32.2.1等傾干涉原理..............................................................................................32.2.2等厚干涉原理.............................................................................................32.2.3泰曼干
5、涉原理.............................................................................................42.2.4泰曼干涉條紋的特性.................................................................................53泰曼干涉的應(yīng)用研究.................
6、...........................................................................63.1泰曼干涉儀的綜合精度計(jì)算............................................................................63.2用泰曼干涉儀檢測(cè)室內(nèi)微小振動(dòng)和空氣流動(dòng)..............................
7、..................63.3用泰曼干涉儀檢測(cè)系統(tǒng)內(nèi)溫度變化................................................................73.4用泰曼干涉儀來(lái)檢驗(yàn)直角棱鏡的綜合質(zhì)量....................................................83.4.1泰曼干涉中直角棱鏡干涉條紋的理論分析.....................
8、........................83.3.2泰曼干涉系統(tǒng)下的直角棱鏡干涉條紋與分析...................................134結(jié)論與展望........................................................................................................184.1結(jié)論.................
9、...............................................................................................184.2展望................................................................................................................185鳴謝.
10、...................................................................................................................216參考文獻(xiàn)..................................................................................................
11、............217附錄......................................................................................................................23摘要I摘要本文深入討論了激光束干涉產(chǎn)生的原理,研究了激光泰曼干涉儀的工作機(jī)理和泰曼干涉儀產(chǎn)生的等厚干涉條紋,并利用HA3型便攜式光學(xué)實(shí)驗(yàn)部件組成激光泰曼干涉系統(tǒng);從理
12、論上分析了直角棱鏡在泰曼干涉系統(tǒng)中各種誤差對(duì)產(chǎn)生的干涉條紋的影響,并利用分析得到的結(jié)果對(duì)2個(gè)直角棱鏡實(shí)際上的干涉條紋進(jìn)行對(duì)比和討論;介紹了泰曼干涉儀的多種應(yīng)用,并探討了用安裝好電視攝像機(jī)和微機(jī)的泰曼電視微機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行振幅測(cè)量的原理和方法;從理論上分析了用泰曼干涉系統(tǒng)測(cè)算直角棱鏡的角度誤差的公式,并得出干涉系統(tǒng)理論上能測(cè)算出無(wú)限小的直角誤差。最后結(jié)果表明:在測(cè)算直角棱鏡的直角誤差上,泰曼干涉系統(tǒng)較其它器件有極大的優(yōu)越性。但在精確地測(cè)量棱鏡的
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