《半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)》課程教學(xué)大綱

1、1《半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)》課程教學(xué)大綱一、課程說(shuō)明一、課程說(shuō)明（一）課程名稱(chēng)、所屬專(zhuān)業(yè)、課程性質(zhì)、學(xué)分；課程名稱(chēng)：半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)所屬專(zhuān)業(yè)：電子材料與器件工程專(zhuān)業(yè)本科生課程性質(zhì)：專(zhuān)業(yè)必修課學(xué)分:4（2）課程簡(jiǎn)介、目標(biāo)與任務(wù)；本課程是為物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院電子材料與器件工程專(zhuān)業(yè)大四本科生所開(kāi)設(shè)的實(shí)驗(yàn)課，是一門(mén)專(zhuān)業(yè)性和實(shí)踐性都很強(qiáng)的實(shí)踐教學(xué)課程。開(kāi)設(shè)本課程的目標(biāo)和任務(wù)是使學(xué)生熟練掌握半導(dǎo)體材料和器件的制備、基本物理參數(shù)以及物理性質(zhì)的測(cè)試原理和表征方法

2、，為半導(dǎo)體材料與器件的開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)與研制堅(jiān)定基礎(chǔ)。（3）先修課程要求，與先修課與后續(xù)相關(guān)課程之間的邏輯關(guān)系和內(nèi)容銜接；由于是實(shí)驗(yàn)課，所以需要學(xué)生首先掌握《半導(dǎo)體物理》和《半導(dǎo)體器件》的基本知識(shí)，再通過(guò)本課程培養(yǎng)學(xué)生對(duì)半導(dǎo)體材料和器件的制備及測(cè)試方法的實(shí)踐能力。其具體要求包括：1、了解半導(dǎo)體材料與器件的基本研究方法；2、理解半導(dǎo)體材料與器件相關(guān)制備與基本測(cè)試設(shè)備的原理、功能及使用方法，并能夠獨(dú)立操作；3、通過(guò)親自動(dòng)手操作提高理論與實(shí)踐相結(jié)合的

3、能力，提高理論學(xué)習(xí)的主動(dòng)性。開(kāi)設(shè)本課程的目的是培養(yǎng)學(xué)生實(shí)事求是、嚴(yán)謹(jǐn)?shù)目茖W(xué)作風(fēng)，培養(yǎng)學(xué)生的實(shí)際動(dòng)手能力，提高實(shí)驗(yàn)技能。（4）教材與主要參考書(shū)。教材：《半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)講義》自編教材參考書(shū)：1.半導(dǎo)體器件物理與工藝(第三版)，施敏，蘇州大學(xué)出版社，2.[美]A.S.格羅夫編齊健譯.《半導(dǎo)體器件物理與工藝》.科學(xué)出版社，1976二、課程內(nèi)容與安排二、課程內(nèi)容與安排實(shí)驗(yàn)一緒論32、學(xué)會(huì)利用激光測(cè)量單晶Si的晶面取向。二、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1、單晶Si的磨

4、片與腐蝕；2、測(cè)量處理Si片的晶面取向。三、實(shí)驗(yàn)主要儀器設(shè)備及材料HeNe激光器、光具座、光屏、NaOH、電爐、燒杯、單晶Si片等。實(shí)驗(yàn)五紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康幕驅(qū)嶒?yàn)原理1、了解紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)的結(jié)構(gòu)、性能及使用方法；2、熟悉常見(jiàn)樣品透過(guò)、吸收光譜的測(cè)量方法。二、實(shí)驗(yàn)內(nèi)容1、分別測(cè)量紅、藍(lán)墨水的吸收光譜；2、測(cè)量半導(dǎo)體薄膜的透射吸收光譜，并計(jì)算材料的光學(xué)帶隙。三、實(shí)驗(yàn)主要儀器設(shè)備及材料紫外可見(jiàn)分光光度計(jì)、紅墨水、藍(lán)墨水、比色皿