kdy-1型四探針電阻率方阻測試儀

1、KDY1型四探針電阻率方阻測試儀使用說明書11、概述、概述KDY1型四探針電阻率方阻測試儀（以下簡稱電阻率測試儀）是用來測量半導(dǎo)體材料（主要是硅單晶、鍺單晶、硅片）電阻率，以及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電薄膜、導(dǎo)電橡膠方塊電阻的測量儀器。它主要由電氣測量部份（簡稱：主機(jī)）、測試架及四探針頭組成。本儀器的特點(diǎn)是主機(jī)配置雙數(shù)字表，在測量電阻率的同時(shí)，另一塊數(shù)字表（以萬分之幾的精度）適時(shí)監(jiān)測全程的電流變化，免除了測量電流測量電阻率的轉(zhuǎn)換，更及時(shí)

2、掌控測量電流。主機(jī)還提供精度為0.05%的恒流源，使測量電流高度穩(wěn)定。本機(jī)配有恒流源開關(guān)，在測量某些薄層材料時(shí)，可免除探針尖與被測材料之間接觸火花的發(fā)生，更好地保護(hù)箔膜。儀器配置了本公司的專利產(chǎn)品：“小游移四探針頭”，探針游移率在0.1～0.2%。保證了儀器測量電阻率的重復(fù)性和準(zhǔn)確度。本機(jī)可加配KDY測量系統(tǒng)，測量硅片時(shí)可自動(dòng)進(jìn)行厚度、直徑、探針間距的修正，并計(jì)算出硅片電阻率、徑向電阻率的最大百分變化、平均百分變化、徑向電阻率不均勻度，

3、給測量帶來很大方便。2、測試儀結(jié)構(gòu)及工作原理、測試儀結(jié)構(gòu)及工作原理測試儀主機(jī)由主機(jī)板、電源板、前面板、后背板、機(jī)箱組成。電壓表、電流表、電流調(diào)節(jié)電位器、恒流源開關(guān)及各種選擇開關(guān)均裝在前面板上（見圖2）。后背板上只裝有電源插座、電源開關(guān)、四探針頭連接插座、數(shù)據(jù)處理器連接插座及保險(xiǎn)管（見圖3）。機(jī)箱底座上安裝了主機(jī)板及電源板，相互間均通過接插件聯(lián)接。儀器的工作原理如圖1所示：電流調(diào)節(jié)電流選擇五檔恒流源恒流源開關(guān)電流表（DVMI）電流方向處理

4、R選擇?小數(shù)點(diǎn)處理環(huán)節(jié)正測反測選擇四探針頭電壓表（DVM2）R顯示輸出?手動(dòng)自動(dòng)選擇計(jì)算機(jī)接口電路KDY測量系統(tǒng)微控制器計(jì)算機(jī)圖1.電阻率測試儀方框圖電阻率測試儀方框圖測試儀的基本原理仍然是恒流源給探針頭（1、4探針）提供穩(wěn)定的測量電流I（由DVM1監(jiān)測），探針頭（2、3）探針測取電位差V（由DVM2測量），由下式即可計(jì)算出材料的電阻率：KDY1型四探針電阻率方阻測試儀使用說明書3如果用戶配置了KDY測量系統(tǒng)，只要輸入W、FSP、測量電

5、流I等相關(guān)參數(shù)，測量系統(tǒng)將自動(dòng)計(jì)算并顯示、保存測量結(jié)果。如果沒有配置KDY測量系統(tǒng)，用戶同樣可以依據(jù)上述計(jì)算公式算出準(zhǔn)確的樣片電阻率。(2)對厚度大于等于對厚度大于等于4倍探針間距的樣片或晶錠，電阻率可按下式計(jì)算：倍探針間距的樣片或晶錠，電阻率可按下式計(jì)算：ρ23=2這是大家熟悉的樣品厚度和任一探針離樣品邊界的距離均大于4倍探針間距（近似半無窮大的邊界條件），無需進(jìn)行厚度、直徑修正的經(jīng)典公式。如果沒有配置KDY測量系統(tǒng)，用戶可以依據(jù)上述

6、計(jì)算公式算出準(zhǔn)確的樣品電阻率。用探針間距為0.1cm的探頭，電流表調(diào)至0.6282，用探針間距0.159cm的探頭，電流表調(diào)至0.9999，即可從本儀器電壓表上粗略的直讀出電阻率。(3)為了描述擴(kuò)散薄層的導(dǎo)電性能，引入方塊電阻的概念。對于薄層材料(箔膜和涂層)厚度很小，為了便于比較它們的導(dǎo)電性能，提出薄層電阻(又稱面電阻率)的概念，我們通過求正方形面積的電阻R□，得出□=23上式可以理解為單位厚度（在相同厚度條件下）薄層材料的電阻率。R