化學(xué)試劑的安全使用27402_第1頁
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文檔簡介

1、化學(xué)試劑的安全使用在使用化學(xué)試劑之前,必須對其安全性能有一個全面的了解,這樣,在使用時,才能有針對性地采取一些安全防范措施,以避免由于使用不當(dāng)造成對實(shí)驗(yàn)人員和實(shí)驗(yàn)設(shè)備的危害。一、化學(xué)試劑的安全性能分類:1.易燃易爆化學(xué)試劑一般閃點(diǎn)25℃極易揮發(fā)的液體遇明火即可燃燒,閃點(diǎn)越低越易燃燒乙醚、汽油、苯、乙酸乙酯,閃點(diǎn)4℃2.有毒化學(xué)試劑一般的化學(xué)試劑對人體都有毒害,使用時應(yīng)避免大量吸入,使用后要及時洗手,吸入少量即中毒的試劑,稱為劇毒化學(xué)試劑

2、。LD50――生物實(shí)驗(yàn)中至死量在50mgkg以下。氰化鉀、氰化鈉等氰化物,砷化物(As2O5)。半導(dǎo)體生產(chǎn)中不慎會引起砷中毒、硫酸、二甲酯等。3.腐蝕性化學(xué)試劑任何化學(xué)試劑碰到皮膚、粘膜、眼睛、呼吸器官時都要及時清洗,特別是接觸腐蝕性極強(qiáng)的化學(xué)試劑,如各種酸和堿:H2SO4、HCL、HNO3、NaOH、KOH。4.強(qiáng)氧化性化學(xué)試劑強(qiáng)氧化性化學(xué)試劑都是過氧化物或是含有強(qiáng)氧化能力的含氧酸及其鹽如高氯酸及其鹽,高錳酸及其鹽,重鉻酸及其鹽(重鉻

3、酸鉀),五氧化二磷等。強(qiáng)氧化性化學(xué)試劑在適當(dāng)條件下可放出氧發(fā)生爆炸,使用此類物質(zhì)時,環(huán)境溫度不能高于30℃,通風(fēng)要良好。5.放射性化學(xué)試劑(略)。二、本公司常用化學(xué)試劑的使用和安全防護(hù)1.為什么要使用化學(xué)試劑?哪些工序使用?(1)晶片表面清洗:目的:去除晶片表面的各種沾污沾污類型:分子型沾污;離子型沾污;原子型沾污分子型沾污:是天然的和人造的酯類,樹脂和油類等有機(jī)物,其分子雜質(zhì)常借助微弱的靜電引力與晶片表面相結(jié)合,由于它們不溶于水,使晶

4、片表面成為疏水性,它妨礙了用去離子水除去表面吸附的離子和金屬雜質(zhì)。因此必須首先除去。使用汽油(甲苯)、丙酮、無水乙醇。離子型沾污:晶片表面由于物理吸附或化學(xué)吸附的關(guān)系,吸附各類離子,引起表面漏電,使器件工作性能不穩(wěn)定及變壞。一般用去離子水清洗即可?;瘜W(xué)吸附的用酸類清洗。原子型沾污:晶片存放于空氣中或由于某種腐蝕處理后,表面上沾污了重金屬離子或粒子,它們和晶片原子相互作用(氧化、還原)而形成金屬原子,嚴(yán)重影響器件表面電導(dǎo)和其它性能。通常用

5、強(qiáng)氧化劑使之氧化而溶解之。雙氧水即是一種強(qiáng)氧化劑,酸性雙氧水(3#液)能溶解如Mg鎂、Ni鎳、W鎢、Nb鈮、Pb鉛等重金屬原子,堿性雙氧水(1#清洗液)可溶解Cu銅、Ag銀、Ni鎳等金屬原子??偟膩碇v,清洗所用的化學(xué)試劑有:汽油、硫酸、雙氧水、氫氧化鈉溶液、丙酮、無水乙醇,有的還用HF(如陳老師他們)、HCl、NH4OH等。(2)光刻:刻圖:主要依賴抗蝕劑――一種高分子聚合物顯影液配制:NaOH顯影、洗版圖形轉(zhuǎn)換:磷酸、丙酮(大量用)、

6、無水乙醇洗液:硫酸、高錳酸鉀腐蝕Cr:高氯酸將來干法腐蝕要用到如下化學(xué)物品:如NaOH(強(qiáng)堿、強(qiáng)腐蝕性、易燃、易燒傷皮膚)、H3PO4(弱酸、易燃)就不詳細(xì)講了。在此提醒大家,在取用化學(xué)物品時,要輕拿輕放,防止撞擊、拖拉和傾倒(前兩天有同志就未注意這點(diǎn)),用完后一定要將瓶蓋擰緊,以免漏氣或再拿時滑落,拿瓶的方法要正確(尤其是很大的大瓶,如硫酸瓶),要戴防護(hù)手套。上面講了化學(xué)試劑的種種危害,是為了提醒大家一定要從思想上重視,時刻注意安全,

7、但決不要形成恐懼心理,畏首畏尾什么也不敢動了。只要我們認(rèn)認(rèn)真真按操作規(guī)程去做,是不會有什么問題的。幾十年來我和各種化學(xué)試劑打交道不少,現(xiàn)在不也很好嗎?3、化學(xué)物品的存放和保管(1)存于專用場地、專用室柜、專人管理(2)根據(jù)物品種類、性質(zhì)、設(shè)置相應(yīng)的通風(fēng)、防爆、泄壓、報(bào)警、滅火、防曬、調(diào)溫、清除靜電等安全措施。(3)遇火、遇潮容易燃燒、爆炸或產(chǎn)生有毒氣體的化學(xué)危險(xiǎn)物品,不得在潮濕、漏雨和低洼容易積水的地方存放、遠(yuǎn)離明火、熱源。(4)應(yīng)在陰

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