實(shí)驗(yàn)二組織的觀察和背散射電子相應(yīng)用

1、實(shí)驗(yàn)二組織的觀察和背散射電子相應(yīng)用一、實(shí)驗(yàn)?zāi)康?.利用二次電子像對(duì)材料形貌進(jìn)行觀察2.了解背散射電子像的應(yīng)用二、實(shí)驗(yàn)原理掃描電鏡具有景深大、圖像立體感強(qiáng)、放大倍數(shù)范圍大且連續(xù)可調(diào)、分辨率高、樣品室空間大且樣品制備簡(jiǎn)單等特點(diǎn)，是進(jìn)行樣品表面研究的有效工具。掃描電鏡是利用細(xì)電子束在樣品表面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，與樣品相互作用產(chǎn)生各種物理信號(hào)，這些信號(hào)經(jīng)檢測(cè)器接收、放大并轉(zhuǎn)換成調(diào)制信號(hào)，最后在熒光屏上顯示反映樣品表面各種特征的圖像。掃描電鏡的圖像放大

2、倍數(shù)在一定范圍內(nèi)(幾十倍到幾十萬(wàn)倍)可以實(shí)現(xiàn)連續(xù)調(diào)整。放大倍數(shù)等于熒光屏上顯示的圖像橫向長(zhǎng)度與電子束在樣品上橫向掃描的實(shí)際長(zhǎng)度之比。掃描電鏡的電子光學(xué)系統(tǒng)是為了提供掃描電子束，作為使樣品產(chǎn)生各種物理信號(hào)的激發(fā)源。掃描電鏡最常使用的是二次電子信號(hào)和背散射電子信號(hào)，前者用于顯示表面形貌襯度，后者用于顯示原子序數(shù)襯度。1.二次電子像襯度形成原理二次電子是指被入射電子轟擊出來(lái)的核外電子。由于原子核和外層價(jià)電子間的結(jié)合能很小，當(dāng)原子的核外電子從入

3、射電子獲得了大于相應(yīng)的結(jié)合能的能量后，可脫離原子成為自由電子。如果這種散射過(guò)程發(fā)生在比較接近樣品表層處，那些能量大于材料逸出功的自由電子可從樣品表面逸出，變成真空中的自由電子，即二次電子。二次電子來(lái)自表面510nm的區(qū)域，能量為050eV。它對(duì)試樣表面狀態(tài)非常敏感，能有效地顯示試樣表面的微觀形貌。由于它發(fā)自試樣表層，入射電子還沒有被多次反射，因此產(chǎn)生二次電子的面積與入射電子的照射面積沒有多大區(qū)別，所以二次電子的分辨率較高，一般可達(dá)到51

4、0nm。掃描電鏡的分辨率一般就是二次電子分辨率。二次電子產(chǎn)額隨原子序數(shù)的變化不大，它主要取決與表面形貌。2.原子序數(shù)襯度形成機(jī)理射電子，有效收集立體角小，信號(hào)強(qiáng)度較低。尤其是樣品中背向探測(cè)器的那些區(qū)域產(chǎn)生的背散射電子，因無(wú)法到達(dá)探測(cè)器而不能被接收。所以利用閃爍體計(jì)數(shù)器接收背散射電子信號(hào)時(shí)，只適合于表面平整的樣品，實(shí)驗(yàn)前樣品表面必須拋光而不需腐蝕。2.樣品的測(cè)量加速電壓15KV探測(cè)器4號(hào)五、實(shí)驗(yàn)結(jié)果上圖顯示灰鑄鐵顯微組織的二次電子像，基體