培訓(xùn)系列之13(巴德純)真空設(shè)備的自動(dòng)化控制

1、本文由luochen262貢獻(xiàn)ppt文檔可能在WAP端瀏覽體驗(yàn)不佳。建議您優(yōu)先選擇TXT，或下載源文件到本機(jī)查看。真空技術(shù)講義真空設(shè)備的自動(dòng)化控制巴德純CVD鍍膜機(jī)自動(dòng)化控制CVD鍍膜機(jī)自動(dòng)化控制實(shí)例1真空感應(yīng)電爐自動(dòng)化控制2CVD真空鍍膜機(jī)自動(dòng)化控制真空鍍膜機(jī)自動(dòng)化控制3等離子體診斷VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)真空

2、感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)CVICVD分布式自動(dòng)化控制技術(shù)研究王慶東北大學(xué)真空與流體工程研究中心Tel:13066764562VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina1課題的提出及研究的意義1.1課題的提出真空感應(yīng)爐是生產(chǎn)鎳基高溫合金、鈦合金、不銹鋼、a.真空感應(yīng)爐是生產(chǎn)鎳基高溫合金、鈦合金、不銹鋼、超高強(qiáng)度鋼等特種合金材料的重要冶煉設(shè)備。超高強(qiáng)度鋼等特種合

3、金材料的重要冶煉設(shè)備。自動(dòng)控制系統(tǒng)是真空感應(yīng)爐的一個(gè)重要組成部分，控制系統(tǒng)是真空感應(yīng)爐的一個(gè)重要組成部分，直接影響產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。目前，影響產(chǎn)品的質(zhì)量和產(chǎn)量。目前，我國(guó)真空感應(yīng)冶煉過(guò)程控制技術(shù)落后、自動(dòng)化水平低，過(guò)程控制技術(shù)落后、自動(dòng)化水平低，已成為制約真空感應(yīng)爐發(fā)展的一個(gè)瓶頸?？崭袘?yīng)爐發(fā)展的一個(gè)瓶頸。隨著市場(chǎng)對(duì)材料質(zhì)量要求越來(lái)越高，b.隨著市場(chǎng)對(duì)材料質(zhì)量要求越來(lái)越高，感應(yīng)爐生產(chǎn)工藝過(guò)程要求有更高的穩(wěn)定性和可重復(fù)性，藝過(guò)程要求有更高的

4、穩(wěn)定性和可重復(fù)性，集散控制系統(tǒng)作為當(dāng)今主流的控制技術(shù)在真空冶金控制領(lǐng)域發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。發(fā)揮著越來(lái)越重要的作用。VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina1課題的提出及研究的意義1.1課題的提出c.近年來(lái)DCS技術(shù)的成熟以及廣泛應(yīng)用，DCS在可近年來(lái)DCS技術(shù)的成熟以及廣泛應(yīng)用DCS技術(shù)的成熟以及廣泛應(yīng)用，DCS在可靠性、開(kāi)放性、靠性、開(kāi)放性、標(biāo)準(zhǔn)

5、化方面都有了很大的進(jìn)步和發(fā)展，可實(shí)現(xiàn)高級(jí)復(fù)雜規(guī)律的控制。發(fā)展，可實(shí)現(xiàn)高級(jí)復(fù)雜規(guī)律的控制。VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina1課題的提出及研究的意義1.2研究的意義真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)由于有中頻電源和感應(yīng)線圈干擾較強(qiáng)CVICVD系統(tǒng)由于有中頻電源和感應(yīng)線圈干擾較強(qiáng)，a.真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)由于有中頻電源和感應(yīng)線圈干擾較強(qiáng)，同時(shí)由于其作為在特

6、種材料的制備設(shè)備需要溫度需要溫度、同時(shí)由于其作為在特種材料的制備設(shè)備需要溫度、流量的精確控制；另外需要控制的量又較多，確控制；另外需要控?zé)Y(jié)爐預(yù)抽真空，；首先機(jī)械旋片泵開(kāi)啟對(duì)燒結(jié)爐預(yù)抽真空，真空度達(dá)到要求后開(kāi)啟羅茨泵再進(jìn)一步抽氣。再進(jìn)一步抽氣。真空沉積爐工作：該工藝下要實(shí)現(xiàn)各種開(kāi)關(guān)量的精確操作，自動(dòng)的進(jìn)料、真空沉積爐工作：該工藝下要實(shí)現(xiàn)各種開(kāi)關(guān)量的精確操作，自動(dòng)的進(jìn)料、出料，真空度的在線檢測(cè)、燒結(jié)溫度的測(cè)控，路氣體流量的測(cè)量與控制出料，

7、真空度的在線檢測(cè)、燒結(jié)溫度的測(cè)控，對(duì)6路氣體流量的測(cè)量與控制可以使用任意一套真空機(jī)組；首先機(jī)械選片泵開(kāi)啟對(duì)燒結(jié)爐預(yù)抽真空，，可以使用任意一套真空機(jī)組；首先機(jī)械選片泵開(kāi)啟對(duì)燒結(jié)爐預(yù)抽真空，真空度達(dá)到要求后開(kāi)啟羅茨泵再進(jìn)一步抽氣。真空度達(dá)到要求后開(kāi)啟羅茨泵再進(jìn)一步抽氣。真空燒結(jié)爐和沉積爐同時(shí)工作：各種開(kāi)關(guān)量的精確操作，套真空機(jī)組可以真空燒結(jié)爐和沉積爐同時(shí)工作：各種開(kāi)關(guān)量的精確操作，2套真空機(jī)組可以同時(shí)工作也可以分別開(kāi)啟，全程的溫度、流量測(cè)控

8、，真空度的在線監(jiān)測(cè)，同時(shí)工作也可以分別開(kāi)啟，全程的溫度、流量測(cè)控，真空度的在線監(jiān)測(cè)，物料的自動(dòng)進(jìn)退等。物料的自動(dòng)進(jìn)退等。VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina真空感應(yīng)CVICVDCVICVD系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD系統(tǒng)控制方案VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversi

9、tyChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)組成方案示意圖VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)組成方案連接圖VacuumFluidEngineeringRe

10、searchCenterofNtheasternUniversityChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)組成方案連接圖VacuumFluidEngineeringResearchCenterofNtheasternUniversityChina3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案3.1真空感應(yīng)CVICVD控制系統(tǒng)控制方案真空感應(yīng)CVICVD真空系