面向自組裝技術的聲表面波氣體檢測平臺.pdf

1、聲表面波氣體傳感器由于具有靈敏度高；輸出信號為頻率信號，易于與計算機接口；分辨率高；抗干擾能力強等優(yōu)點，成為氣體傳感器的研究熱點之一。自組裝膜由于其具有良好的穩(wěn)定性和有序性，將其用于氣體傳感器敏感膜，能提高傳感器的響應速度。將兩者相結合，利用聲表面波振動的敏感性，同時結合了自組裝膜的特殊選擇性，作為氣體檢測的手段，可以對被測氣體進行快速的定量測定，具有高靈敏度、響應快、小型簡便等特點。 本論文提出了一種面向自組裝膜的聲表面波氣體

2、檢測平臺，在聲表面波雙端諧振器上固定自組裝膜進行檢測，并且能夠針對不同的氣體在其上固定不同的自組裝膜。由于自組裝膜需要在一定的基底上固定，并考慮到金表面穩(wěn)定、耐腐蝕，并且含硫化合物與之有強的相互作用，因此將金作為自組裝膜的基底材料，但是作為自組裝膜基底的金膜對聲表面波器件的頻率響應會產(chǎn)生一定的影響。 本文主要對沉積金膜前后聲表面波器件的性能變化進行分析。金膜的不同位置會產(chǎn)生不同的影響，利用耦合模理論對沉積金膜前后聲表面波器件進行