等離子噴涂氧化鋁陶瓷涂層介電性能研究.pdf

1、Al2O3陶瓷的資源豐富,價格低廉,其優(yōu)異的絕緣性能和適中的介電常數(shù)于電子技術(shù)領(lǐng)域中廣泛用做真空電容器的陶瓷管殼,大功率珊控金屬陶瓷管、微波管輸能窗的陶瓷組件,各種陶瓷基板及半導(dǎo)體集成電路陶瓷封裝管殼等。然而,其工藝上若實施的條件不當(dāng),氧化鋁的介電性能會在相當(dāng)寬的范圍內(nèi)變化,致使產(chǎn)品性能的一致性難以保證,用在真空器件中常常出現(xiàn)陶瓷表面打火、絕緣性能下降或介電損耗過大產(chǎn)生過熱的現(xiàn)象,嚴(yán)重時會導(dǎo)致器件失效。大量研究表明,Al2O3陶瓷涂層的

2、介電性能主要取決于主晶相的物理特性。
　　 本文采用等離子噴涂技術(shù),于316不銹鋼基體上制備氧化鋁陶瓷涂層,用其作為電介質(zhì)材料制成圓柱形電容器,僅通過改變等離子弧電流(300A-450A-600A)控制涂層中的相組成。結(jié)果表明,原始粉末是α-Al2O3相,隨著弧電流的增加,涂層里出現(xiàn)越來越多的γ-Al2O3相,而α-Al2O3相減少,采用LCR數(shù)字電橋測量結(jié)果顯示氧化鋁涂層的介電常數(shù)增加,電阻率下降。同時,電容測量結(jié)果還與數(shù)字電