微波鐵氧體材料微孔的旋轉(zhuǎn)超聲加工技術(shù)與裝備研究.pdf

1、鐵氧體由于渦流損耗低、電阻率高、電容率高、磁導(dǎo)率高，廣泛運(yùn)用于電機(jī)、變壓器、汽車、飛機(jī)、火箭、雷達(dá)等設(shè)備的制造，但是現(xiàn)有技術(shù)加工出的深小孔尺寸精度低、表面質(zhì)量差，很難滿足使用要求。因此，本文提出采用負(fù)載匹配系統(tǒng)配合旋轉(zhuǎn)超聲加工的技術(shù)方案，解決鐵氧體材料高精度微孔加工的難題。具體包括以下幾個(gè)方面：
　　首先，根據(jù)微波鐵氧體材料旋轉(zhuǎn)超聲制微孔的特點(diǎn)，研制附件化的超聲波加工頭，其主要由超聲波發(fā)生器、換能器、變幅桿、刀具、專用刀柄和高速滑

2、環(huán)組成。其中，超聲波發(fā)生器可以實(shí)現(xiàn)諧振頻率在17~80 kHz范圍內(nèi)連續(xù)可調(diào)，能精密到0.1 kHz調(diào)節(jié)，具有頻率自動(dòng)跟蹤功能；超聲振動(dòng)系統(tǒng)可以達(dá)到10~20?m的振動(dòng)幅值；高速滑環(huán)轉(zhuǎn)速能夠達(dá)到4000 r/min以上。
　　其次，基于靜壓氣體潤(rùn)滑技術(shù)，進(jìn)行負(fù)載匹配氣浮工作臺(tái)的基本結(jié)構(gòu)優(yōu)化；完成氣動(dòng)系統(tǒng)設(shè)計(jì)，為氣浮工作臺(tái)提供潤(rùn)滑和支撐；搭建電氣控制模塊，使用三個(gè)力傳感器實(shí)時(shí)采集超聲加工過程中的切削力信號(hào)，并進(jìn)行氣浮工作臺(tái)的反饋控制

3、。其中，負(fù)載匹配氣浮工作臺(tái)減重10.93％；氣浮工作臺(tái)的負(fù)載力控制分辨率能夠達(dá)到12 g，最大負(fù)載達(dá)到60 kg。
　　最后，搭建鐵氧體材料超聲精密制微孔技術(shù)實(shí)驗(yàn)臺(tái)，針對(duì)石榴石鐵氧體材料展開系統(tǒng)的打孔實(shí)驗(yàn)研究，分析超聲振動(dòng)打孔機(jī)理，工藝參數(shù)、刀具參數(shù)、超聲參數(shù)對(duì)負(fù)載力、加工效率、表面質(zhì)量、尺寸精度、刀具磨損等的影響規(guī)律，提出表面質(zhì)量和精度控制措施，以及合理穩(wěn)定的制微孔工藝方案。
　　本文的研究?jī)?nèi)容為解決鐵氧體材料小直徑深孔高