干冰微粒噴射法清洗和拋光ITO玻璃.pdf

1、ITO玻璃是液晶顯示器（LCD）和有機(jī)發(fā)光顯示器(OLED)的重要部件，ITO玻璃表面的潔凈度是影響LCDs和OLEDs性能的重要因素。隨著對(duì)能源和環(huán)保的關(guān)注，傳統(tǒng)的清洗技術(shù)難以滿足要求。干冰微粒噴射法作為一種新型的精密清洗技術(shù)在電子器件及材料的清洗方面很有成效，它具清洗效果好，不使用水和化學(xué)藥品，不會(huì)引入二次污染，并且無(wú)毒，對(duì)人體無(wú)害等優(yōu)點(diǎn)。因此將干冰微粒噴射法應(yīng)用于ITO玻璃的清洗具有重要的實(shí)際意義。
　　本文介紹了干冰微粒噴

2、射法清洗的有關(guān)研究和理論，進(jìn)行了用干冰微粒噴射法清洗ITO玻璃的實(shí)驗(yàn)，研究了噴射角度、噴射距離、噴射時(shí)間等因素對(duì)于清洗效果的影響。同時(shí)對(duì)比了低頻超聲波法清洗ITO玻璃的清洗效果。研究表明，經(jīng)過(guò)超聲波法清洗和干冰微粒噴射清洗的ITO玻璃樣品的表面接觸角都比未清洗樣品的顯著減小，表面能有顯著提高，而且干冰微粒噴射法清洗后ITO玻璃表面的浸潤(rùn)性超過(guò)了超聲波洗法清洗后的浸潤(rùn)性。通過(guò)固定減速比(FRR)模型對(duì)表面元素含量的進(jìn)行定量分析和C1s和O

3、1s的精細(xì)譜分析，發(fā)現(xiàn)干冰微粒噴射法能夠降低表面污染碳和COOH態(tài)的氧，從而有效地降低了表面有機(jī)污染物的含量，提高了ITO玻璃的表面潔凈度。對(duì)清洗前后樣品表面殘留顆粒進(jìn)行了SEM測(cè)量和分析，結(jié)果表明相對(duì)于超聲法，干冰微粒噴射法能更有效地去除表面污染顆粒。
　　制備了結(jié)構(gòu)相同但其ITO陽(yáng)極分別采用干冰微粒法清洗和超聲波法清洗的兩種OLED器件，對(duì)這兩種器件的光電參數(shù)進(jìn)行了測(cè)量。結(jié)果表明，使用干冰微粒噴射法清洗ITO電極的器件的啟亮電