自動(dòng)阻抗匹配器硬件系統(tǒng)的研制及相關(guān)特性的研究.pdf

1、在射頻系統(tǒng)中常用傳輸線來(lái)連接射頻源和負(fù)載。為了實(shí)現(xiàn)傳輸功率的最大化和減少功率反射，要求源的輸出阻抗等于傳輸線的特征阻抗且負(fù)載阻抗等于傳輸線特征阻抗。在實(shí)際應(yīng)用中，前者條件比較容易，而后者條件因?yàn)樨?fù)載在工作條件下是隨時(shí)間和工作環(huán)境而動(dòng)態(tài)變化的，因此負(fù)載一般不能與傳輸線特征阻抗相一致。自動(dòng)阻抗匹配器實(shí)現(xiàn)將實(shí)時(shí)變化的負(fù)載阻抗變換到與射頻源阻抗一致。自動(dòng)阻抗匹配器是射頻系統(tǒng)，特別是感應(yīng)耦合等離子體系統(tǒng)(ICPS)中非常重要的組成部分。研制出自動(dòng)

2、阻抗匹配器可以填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。 本論文的工作主要體現(xiàn)在以下幾個(gè)方面： 1.本文對(duì)Γ型匹配網(wǎng)絡(luò)和π型網(wǎng)絡(luò)的阻抗匹配范圍做了分析；為了直觀了解阻抗變換過(guò)程，我們引入了Smith圓圖：并對(duì)如何從反射系數(shù)反演負(fù)載阻抗進(jìn)行了理論推導(dǎo)。 2.研制了一套基于ARM微處理器的自動(dòng)阻抗匹配器硬件系統(tǒng)。提供LCD顯示和鍵盤輸入人機(jī)界面；能夠采集和處理實(shí)時(shí)功率信號(hào)；應(yīng)用數(shù)字PID算法控制電機(jī)調(diào)節(jié)阻抗匹配網(wǎng)絡(luò)參數(shù)。 3.對(duì)研制自動(dòng)