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文檔簡介
1、近來隨著建筑節(jié)能的需求,低輻射玻璃(Low-E玻璃)在商業(yè)住宅和居民住宅中的應(yīng)用逐漸增多。銀系低輻射玻璃是世界上應(yīng)用最廣泛的低輻射玻璃,其介質(zhì)層具有多樣性,如TiO2、ZnO、SnO2等,多為金屬氧化物,為了避免制備過程中被氧化,需在銀膜上沉積一層薄薄的金屬遮蔽層,制成產(chǎn)品后為防止大氣中氧化需立即裝成中空玻璃不能再深加工。傳統(tǒng)離線Low-E玻璃在滿足采光的需求下,可以有效節(jié)省采暖和空調(diào)費(fèi)用。離線可異地加工的Low-E玻璃除了具有良好的光
2、譜選擇特性外,還具有傳統(tǒng)離線low-E所不具有的優(yōu)點(diǎn),如可實(shí)現(xiàn)深加工,在密封條件下可單片存放較長時間,可在大氣中單片暴露一定時間等。二氧化硅與玻璃和銀具有良好的附著力,氮化鈦具有良好的機(jī)械穩(wěn)定性和化學(xué)穩(wěn)定性。論文采用納米二氧化硅做介質(zhì)層,用納米氮化鈦?zhàn)鐾鈱颖Wo(hù)膜,設(shè)計了一組具有良好附加屬性的低輻射復(fù)合膜。
本研究課題以銀靶、二氧化硅靶和鈦靶為靶材,氮?dú)鉃榉磻?yīng)氣體,采用射頻磁控濺射法在玻璃基片和硅片上沉積了TiNx薄膜和TiNx
3、/SiO2/Ag/SiO2復(fù)合膜。運(yùn)用X射線衍射儀(XRD)、X射線光電子能譜分析(XPS)、掃描隧道顯微鏡(STM)、四探針電阻儀、紫外可見分光光度計、蔡氏金相顯微鏡、橢偏儀等儀器對制備的薄膜進(jìn)行了測試和分析。
研究表明:氧化硅介質(zhì)層各層厚度為20nm時起到增透效果;最外層氮化鈦呈非晶態(tài),在可見光范圍內(nèi)具有高透過率,隨N/Ti原子比例的增加薄膜顏色趨向金黃色,可見光透過率成下降趨勢;隨著保護(hù)層氮化鈦薄膜厚度增加,TiNx/S
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