基于CCD的石英管壁厚檢測(cè)系統(tǒng)研究.pdf

1、本文基于CCD器件所具有的自掃描、高分辨率、高靈敏度等特性以及測(cè)量精度高、易維護(hù)、操作容易等優(yōu)點(diǎn)，提出了一種用于透明石英管壁厚非接觸在線測(cè)量的光電檢測(cè)系統(tǒng)——基于CCD的石英管壁厚檢測(cè)系統(tǒng)，以滿足生產(chǎn)中石英管壁厚檢測(cè)高效率、自動(dòng)化、動(dòng)態(tài)檢測(cè)、非接觸測(cè)量等要求。 該系統(tǒng)主要由半導(dǎo)體激光光源、準(zhǔn)直擴(kuò)束整形光學(xué)系統(tǒng)、主體精密機(jī)械系統(tǒng)、單片機(jī)控制系統(tǒng)和計(jì)算機(jī)實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等組成。該系統(tǒng)將光學(xué)、機(jī)械、電子和計(jì)算機(jī)技術(shù)有機(jī)地結(jié)合，利用線陣

2、CCD器件接收由石英管壁上下表面所反射的一對(duì)一字形激光光束，通過(guò)計(jì)算兩光束間距，從而計(jì)算得到石英管壁厚值。該激光光束通過(guò)一系列光學(xué)系統(tǒng)處理，充分利用了CCD器件的分辨率，達(dá)到了高速高精度非接觸測(cè)量的設(shè)計(jì)要求。 本論文主要對(duì)“基于CCD的石英管壁厚檢測(cè)系統(tǒng)”研制進(jìn)行基礎(chǔ)理論探討，在確定該檢測(cè)系統(tǒng)的總體方案設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，主要從事了該檢測(cè)儀的光學(xué)系統(tǒng)、CCD硬件電路以及單片機(jī)控制系統(tǒng)的研究工作，并對(duì)實(shí)驗(yàn)結(jié)果進(jìn)行了誤差分析，驗(yàn)證了方案的