西門子反應器內硅烷分解過程模擬.pdf

1、多晶硅是半導體和光伏產業(yè)的基礎材料，是一種重要的戰(zhàn)略材料。各國都在大力發(fā)展大規(guī)模多晶硅生產技術。其中硅烷法具有低能耗、清潔無污染、分解率高、產物純度高等優(yōu)點，是制造多晶硅的一種重要方法，但沉積速率較慢，還不能令人滿意。本文通過研究西門子反應器內硅烷分解過程，探討硅烷法工藝參數的影響規(guī)律，以獲得低成本、快速沉積多晶硅的生產工藝。
　　 計算流體力學（CFD）已廣泛應用于各種工程實際中，尤其適合于研究特殊尺寸、高溫、易燃易爆等實驗中

2、只能接近而無法達到的理想條件，具有周期短、成本低等優(yōu)點。通過對硅烷分解過程熱力學和動力學分析，本文采用標準K-e湍流模型、DTRM輻射模型、有限反應速率模型，應用計算流體力學軟件FLUENT對硅烷的分解過程進行模擬。
　　 模擬結果表明氣體流速、棒溫、壓力對分解過程的各項指標有不同程度的影響。流速的增大可以顯著增加硅產量并降低單位能耗，但大量未分解的硅烷從出氣口排出，成為流速增大的限制條件；較低的溫度可以顯著減小能耗，但溫度過低