半導(dǎo)體材料四探針測(cè)試儀中的自動(dòng)控制技術(shù)與圖象識(shí)別技術(shù)的應(yīng)用.pdf

1、四探針技術(shù)是測(cè)量半導(dǎo)體電阻率的專用測(cè)量手段，已經(jīng)有幾十年的歷史。它不僅包括豐富的理論，而且已經(jīng)在半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝中獲得了廣泛應(yīng)用。當(dāng)今，集成電路制造技術(shù)飛速發(fā)展，對(duì)半導(dǎo)體晶片微區(qū)各種性能的要求日益提高。四探針技術(shù)也同時(shí)面臨著新的挑戰(zhàn)。鑒于這種形勢(shì)，我們自行開發(fā)了一臺(tái)獨(dú)具特色的四探針測(cè)試儀，它不僅使用了PC 機(jī)和單片機(jī)自動(dòng)控制技術(shù)來(lái)完成測(cè)量過(guò)程，還結(jié)合了圖象識(shí)別技術(shù)進(jìn)行探針的精確定位。在這篇論文中，本人重點(diǎn)闡述了自己的工作，并對(duì)我們的測(cè)試儀

2、做了全面介紹。 首先，在緒論中概括介紹了四探針技術(shù)背景、測(cè)試儀總體概況和本論文的主要研究?jī)?nèi)容。然后，對(duì)四探針測(cè)量理論進(jìn)行了簡(jiǎn)要論述，包括各種四探針?lè)y(cè)量公式的歸納和一些相關(guān)理論的總結(jié)，并且著重強(qiáng)調(diào)了應(yīng)用到方形四探針的改進(jìn)的Rymaszewski 測(cè)量法。接著，分別從下位單片機(jī)的電路設(shè)計(jì)、上位PC 機(jī)的操作軟件設(shè)計(jì)和圖象識(shí)別探針定位技術(shù)等幾個(gè)方面，系統(tǒng)全面地介紹了我們這臺(tái)測(cè)試儀的技術(shù)內(nèi)涵。其中在下位單片機(jī)電路中，重點(diǎn)介紹了恒流源的