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文檔簡介
1、由于K<,2>NiF<,2>結(jié)構(gòu)的A<,2>BO<,4>復(fù)合氧化物容易形成缺氧型的非化學(xué)計(jì)量比化合物,有較好的氧交換及擴(kuò)散能力,因而A<,2>BO<,4>復(fù)合氧化物成為繼ABO<,3>更有發(fā)展前景的新型氧敏材料。本文采用甘氨酸一硝酸鹽法成功地制備了La<,2>CuO<,4>和La<,2>MxCu<,1-x>O<,4>(M=Ni、Co、Fe),采用固相法制備了La<,2-x>Sr<,x>CuO<,4>等幾個系列的材料,并制成厚膜型氧敏元件
2、,同時測試了這幾個系列材料的氧敏性能;通過改變制備工藝,獲得具有較好的氧敏性能的厚膜氧敏元件。主要結(jié)論如下: (1)厚膜型La<,2>CuO<,4>在400℃時的靈敏度最大,可以達(dá)到29.6,遠(yuǎn)大于燒結(jié)型La<,2>CuO<,4>的靈敏度,且厚膜型La<,2>CuO<,4>在400℃對于氧分壓變化具有快速的響應(yīng),響應(yīng)時間為4秒。由于工作溫度較低,較適合氧傳感器中低溫化的發(fā)展要求。 (2)研究發(fā)現(xiàn),經(jīng)過700℃燒結(jié)、膜厚為
3、80μm、添加介質(zhì)粉含量為5%時制得的厚膜型La<,2>Ni<,0.1>Cu<,0.9>O<,4>在測試溫度為400℃時氧敏性能較好,靈敏度為7.1,響應(yīng)時間為16s,恢復(fù)時間54min。 (3)經(jīng)過研究發(fā)現(xiàn),燒結(jié)溫度為600℃、膜厚為20μm、介質(zhì)粉含量為5%的厚膜型La<,1.2>Sr<,0.8>CuO<,4>在400-700℃溫度測試區(qū)間,具有較好的氧敏性能,在700℃靈敏度最大為2.53,響應(yīng)時間1.5s,恢復(fù)時間3.3
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