2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、上海交通大學(xué)碩士學(xué)位論文一種新型半導(dǎo)體制造先進(jìn)過(guò)程控制：雙近似逆系統(tǒng)反饋控制姓名：華盛申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：程秀蘭200801156ABSTRACTAPCisveryimptanttoimprovethroughputyieldperfmanceofproductsinmodernsemiconductmanufacturing.ItisdifficultfuniversalAPCtoreduceerra

2、utomaticallyeffectively.AnovelantisystematicerrAPC:DualProximateInverseSystemFeedbackControl(DIFC)isestablishedinthispaper。Itcandecreasesystematicerrbyamendingpropertyvariationofequipments.InDIFCtwoloopsareusedtoinverseb

3、othtargetoutputrealoutput.Controllawwillanalyzethedifferencebetweenthemtoamendinput.SufficientconditionthatmakesDIFCasymptoticallystableconvergenttotargetoutputisgivenproved.DIFCissimulatedusingseveralvirtualsemiconductt

4、oolse.g.RTPionimplanterCMPtool.Differentcontrollaws(e.g.ProptionalProptionIntegralDifferentialPIDDynamicProptional)InverseSystem(e.g.RadialBasicFunction–RBFwkLinearApproximationModel)areusedinthesimulations.ItshowsthatDI

5、FCcandealwithsystematicalerrbothcontinuous(duringmanufacturing)step(aftermaintenance)DIFCdoreducetheseerrsbyseveraldersofmagnituderapidly.KEYWDS:AdvancedProcesscontrolSemiconductFabricationDualProximateInverseSystemFeedb

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