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文檔簡介
1、隨著VLSI技術(shù)的發(fā)展，電遷移已成為集成電路主要的失效原因之一，由其引起的可靠性問題也被逐漸關(guān)注。為此本文提出了一種能與任何器件集成在一起，伴隨器件同時(shí)進(jìn)行電遷移老化，并在退化達(dá)到指定的界限時(shí)能發(fā)出失效信號(hào)的測(cè)試結(jié)構(gòu)，此結(jié)構(gòu)利用芯片中的片上可靠性監(jiān)視器，從而減小了對(duì)可靠性建摸的依賴，而且它只占用很小的芯片面積，便于集成。在進(jìn)行設(shè)計(jì)時(shí)，只需要仿真每個(gè)電路和測(cè)試結(jié)構(gòu)的功能，可以避開耗時(shí)且麻煩的可靠性仿真。這種內(nèi)嵌式可靠性監(jiān)測(cè)器可以用來預(yù)測(cè)器
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