一款半導(dǎo)體材料電阻率測量的恒流源系統(tǒng)設(shè)計(jì).pdf

1、隨著新材料的研制和開發(fā)，對材料電阻率的測量顯得日益重要，目前國內(nèi)微電子工業(yè)中多采用直線陣列等間距四探針作為測量常溫下材料電阻率的方法，應(yīng)用四探針法測量電阻率已引起人們的重視。四探針測量系統(tǒng)的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡單操作方便，精確度高，對樣品的形狀無嚴(yán)格要求。恒流源是一種能向負(fù)載提供恒定電流的電路，它是四探針電阻率測試系統(tǒng)中的重要組成不分，可以說恒流源的性能在很大程度上決定了整個四探針測試系統(tǒng)的性能。 恒流源電路通常是指一個輸出電流大小與外

2、部影響無關(guān)的電子電路。實(shí)際上，當(dāng)該電路的外部條件在一定范圍內(nèi)變化時，提供負(fù)載的電流基本保持不變。它已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料參數(shù)的測量儀器、教育、科研和實(shí)際生產(chǎn)之中。電阻率是反映半導(dǎo)體材料導(dǎo)電性能的重要參數(shù)之一。測量電阻率的方法很多，四探針法是一種廣泛采用的標(biāo)準(zhǔn)方法。它的優(yōu)點(diǎn)是設(shè)備簡單操作方便，精確度高，對樣品的形狀無嚴(yán)格要求，而作為四探針測試儀重要組成恒流源電路就顯得尤為重要。 本文從恒流源的有基本概念入手，對恒流源的應(yīng)用和表述作

3、了較為詳細(xì)的介紹和分析；然后介紹直流穩(wěn)壓電源的基本概念、基本構(gòu)成；接下來，對恒流源進(jìn)行了比較詳細(xì)的描述，其中對幾種恒流源電路進(jìn)行的分析；接著介紹了四探針測試儀和與自主設(shè)計(jì)的恒流源電路，該電路采用LM317三端可調(diào)式集成穩(wěn)壓器作為穩(wěn)壓部分的核心，由改進(jìn)型的晶體管恒流源電路作為恒流部分的核心，并使用了達(dá)林頓管TIP122進(jìn)行擴(kuò)流，然后對電路進(jìn)行了軟件模擬測試，達(dá)到規(guī)定的要求；最后，運(yùn)用Prote199SE軟件把電路制成印刷線路板，并對裝配好