共面波導(dǎo)法測量BST薄膜參數(shù)研究.pdf

1、鈦酸鍶鋇薄膜（簡稱BST）在微波頻率下具有小的漏電流，較小介電損耗，較大介電常數(shù)，且介電常數(shù)隨外加偏壓變化的特點(diǎn)，由于利用BST薄膜可制作移相器等可調(diào)諧器件而被廣泛研究。BST薄膜介質(zhì)移相器性能與BST的微波參數(shù)：介電常數(shù)、損耗角、調(diào)諧率相關(guān)，因此測量BST薄膜微波參數(shù)對設(shè)計BST介質(zhì)移相器來說意義重大。共面波導(dǎo)（簡稱CPW）傳輸線便于施加偏壓而便于測試BST調(diào)諧率，因此本文對使用CPW結(jié)構(gòu)測量10GHz頻率下BST薄膜的微波參數(shù)在方法

2、上進(jìn)行了研究。 首先利用電磁軟件-HFSS仿真研究了包括CPW的信號線寬度、縫隙寬度、金屬電極材料的種類及厚度、襯底材料的性質(zhì)和厚度對CPW微波傳輸?shù)挠绊?，特別研究了接地面寬度大小對CPW傳輸?shù)挠绊憽?然后利用仿真的結(jié)果設(shè)計了信號線寬度分別為10、20、30，不同長度的CPW測試結(jié)構(gòu)及其校準(zhǔn)件近百個，以滿足BST介電常數(shù)在60-240，厚度在0.2 -1.0 范圍內(nèi)測試的需要，并用L-EDIT軟件繪制了相應(yīng)的版圖。