高能電子束流品質(zhì)測試系統(tǒng)硬件研制.pdf

1、本文采用法拉第筒原理，傳感采集高能電子束流信號，利用電磁線圈驅(qū)動電子束流高速掃描，達(dá)到電子束各點依次穿過法拉第孔的目的，實現(xiàn)電子束流能量密度分布規(guī)律的傳感檢測。 設(shè)計了中高壓電子束品質(zhì)傳感檢測系統(tǒng)，能夠?qū)?0-150kV、5-100mA的電子束流能量密度分布規(guī)律進(jìn)行檢測，該系統(tǒng)由電子束流法拉第筒傳感裝置、電子束電磁線圈、電子束高精度放大電路和高速數(shù)據(jù)采集卡等部分組成。 電子束從能量吸收裝置掃描到法拉第筒為X方向偏轉(zhuǎn)，在法

2、拉第筒上步進(jìn)的方向為Y方向偏轉(zhuǎn)。在測試德國阿亨大學(xué)研制的偏轉(zhuǎn)線圈基礎(chǔ)上，獲得了X和Y偏轉(zhuǎn)方向電流與磁場的關(guān)系，依據(jù)電子束掃描路徑和Y方向20μm步距，計算得出了12極靴偏轉(zhuǎn)線圈，每個極靴上的繞組為87匝，線徑設(shè)計為0.27mm。 針對電子束流進(jìn)入法拉第筒，獲得的傳感信號非常微弱的特點，研制了傳感放大電路和微信號差動放大電路，兩種電路都具有倍數(shù)可控放大的特點，適用于微弱信號的放大。同時設(shè)計有源低通濾波電路，采用EWB仿真軟件對微信