甲醛氣敏元件研制及靈敏度特性研究.pdf

1、本文介紹了關(guān)于甲醛氣敏元件的制備及其靈敏度特性提高方面的研究，應(yīng)用化學(xué)共沉淀法制備了二氧化錫(SnO2)納米材料，應(yīng)用檸檬酸鹽法制備了鐵酸鍶鑭(LaxSr1-xFeO3)以及氧化鎳(NiO)納米材料，并對不同的敏感材料的氣敏性能進(jìn)行了比較。通過實(shí)驗(yàn)結(jié)果得出結(jié)論，SnO2對甲醛的氣敏性能最好，在相同條件下的靈敏度最高。應(yīng)用制備的納米敏感材料制作了厚膜型氣敏元件以及旁熱式氣敏元件，對兩種結(jié)構(gòu)進(jìn)行比較得出結(jié)論，在現(xiàn)有的工藝條件下，旁熱式結(jié)構(gòu)元

2、件的性能要優(yōu)于厚膜型元件的性能。 對制作的旁熱式甲醛氣敏元件的靈敏度特性等性能進(jìn)行了測試，結(jié)果表明，SnO2甲醛氣敏元件靈敏度最高時(shí)的加熱功率為0.4W；元件的響應(yīng)時(shí)間約為25s，恢復(fù)時(shí)間約為40s；隨著氣體濃度的增加，元件的靈敏度逐漸增加，在高濃度階段趨于飽和。同時(shí)測試了乙醇?xì)怏w以及濕度對制作的旁熱式甲醛氣敏元件的干擾。發(fā)現(xiàn)在高濃度段，相同氣體濃度的條件下，元件對乙醇?xì)怏w的靈敏度要高于對甲醛氣體的靈敏度，但是在低濃度段，出現(xiàn)了

3、元件對甲醛氣體的靈敏度要高于元件對乙醇?xì)怏w的靈敏度的趨勢。濕度的存在對制作的元件的影響很小。 組建了一套氣敏元件自動(dòng)測試系統(tǒng)，利用D/A卡實(shí)現(xiàn)對質(zhì)量流量控制器的控制，該系統(tǒng)能夠自動(dòng)控制待測試氣體的流量和濃度。在通氣過程中，保證總體的氣體流量不變，將流量對氣敏元件的影響排除在外。同時(shí)，應(yīng)用A/D卡使該系統(tǒng)能夠自動(dòng)采集氣敏元件的動(dòng)態(tài)響應(yīng)，并繪制出動(dòng)態(tài)響應(yīng)曲線。 針對半導(dǎo)體氧化物氣敏元件對甲醛氣體以及乙醇?xì)怏w的選擇性不好的特點(diǎn)