螺桿型干式真空泵參數(shù)化設(shè)計軟件的開發(fā).pdf

1、近年來在半導(dǎo)體工業(yè)和液晶顯示器制造工藝中，對清潔真空環(huán)境的要求越來越高，而傳統(tǒng)的有油真空泵已經(jīng)達(dá)不到這樣的要求了。螺桿型干式真空泵以其抽速范圍寬、結(jié)構(gòu)簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點(diǎn)，得到越來越多制造和應(yīng)用單位的重視，在干式真空泵市場中占有重要的地位。在歐美和日本等發(fā)達(dá)國家，螺桿型干式真空泵在很多領(lǐng)域已經(jīng)越來越多的代替了傳統(tǒng)的有油泵。但由于螺桿泵加工難度大，我國使用的螺桿泵主要依靠進(jìn)口，價格非常昂貴。為改變這種

2、狀況，實現(xiàn)螺桿型干式真空泵的國產(chǎn)化，本文采用參數(shù)化設(shè)計方法，旨在簡化螺桿型無油真空泵的設(shè)計和加工過程，使其早日在中國實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化，為新興工業(yè)的發(fā)展提供清潔的真空環(huán)境。 本文首先討論了目前常用的螺桿型干式真空泵轉(zhuǎn)子類型，給出了幾種型線方程，分析了幾種型線適用條件；接下來討論了螺桿泵的泵體結(jié)構(gòu)形式及軸上各零件的選擇標(biāo)準(zhǔn)，給出了幾種常用的泵體結(jié)構(gòu)和軸類零件供選擇。 在開發(fā)工具的選擇方面，本文首先討論了目前進(jìn)行二次開發(fā)比較流行的開

3、發(fā)平臺和開發(fā)語言，比較了幾種軟件的優(yōu)缺點(diǎn)，最后確定采用VB語言在Solidworks開發(fā)平臺上進(jìn)行參數(shù)化設(shè)計。 為了使程序具有更好的擴(kuò)展性，在參數(shù)化設(shè)計前建立了關(guān)于螺桿泵轉(zhuǎn)子、泵體及軸上零件結(jié)構(gòu)參數(shù)的數(shù)據(jù)庫，使程序運(yùn)行中調(diào)用數(shù)據(jù)更加簡單，同時也使得程序能適用于將來型線種類的增加和結(jié)構(gòu)的改進(jìn)。 螺桿型干式真空泵的參數(shù)化設(shè)計軟件包括了以下兩方面的內(nèi)容：計算和繪圖。利用選擇的型線種類和輸入的抽速計算出螺桿泵各零件的結(jié)構(gòu)參數(shù)，根