激光微熔覆技術(shù)制備平面微電感的研究.pdf

1、隨著微電感元件向微型化、高頻化、集成化和高性能化發(fā)展，對(duì)其制備技術(shù)提出了更多、更嚴(yán)的要求。傳統(tǒng)的方法因存在加工靈活性低、周期長和成本高等諸多不足，迫使眾多科研工作者致力于新方法和新技術(shù)的研究。本文在國家自然科學(xué)基金和國家“863”計(jì)劃的資助下，提出基于勻膠的激光微熔覆制備微電感的新技術(shù)，成功地制備出空芯矩形微電感、空芯柵形微電感、磁芯矩形微電感和磁芯柵形微電感。通過對(duì)該技術(shù)深入細(xì)致的研究，得到如下主要結(jié)果：
　　 深入研究未干燥

2、的膜厚隨勻膠工藝參數(shù)的變化關(guān)系和膜厚分布計(jì)算模型，系統(tǒng)研究激光微熔覆微電感技術(shù)的工藝規(guī)律，重點(diǎn)研究微電感的電學(xué)性能和其影響因素，初步建立電感量計(jì)算模型。結(jié)果表明：未干燥的膜厚隨勻膠轉(zhuǎn)速增加、勻膠時(shí)間增加和運(yùn)動(dòng)粘度降低而減小。在平面勻膠的膜厚分布計(jì)算模型基礎(chǔ)上，初步建立錐面勻膠的膜厚分布計(jì)算模型，并初步統(tǒng)一平面勻膠和錐面勻膠的膜厚分布計(jì)算模型。
　　 詳細(xì)研究電感結(jié)構(gòu)對(duì)激光微熔覆制備的空芯矩形微電感電性能的影響規(guī)律。結(jié)果表明：在1

3、00KHz～1MHz頻率下，隨著圈數(shù)增多、面積增大、線長變長、激光功率密度增大，可以獲得更大電感量。同時(shí)發(fā)現(xiàn)，在同樣形狀下經(jīng)過優(yōu)化電感結(jié)構(gòu)可提高電感量和單位面積電感量。
　　 為了進(jìn)一步提高電感量，采用在空芯微電感上添加磁芯的方法，該磁芯由不含玻璃相的電感漿料經(jīng)過激光作用后形成。對(duì)比試驗(yàn)表明：磁芯柵形微電感相比空芯柵形微電感而言，在100KHz～1MHz頻率下提高電感量大約達(dá)26.08%。
　　 最后，本文提出不同頻率段