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文檔簡介
1、寬禁帶半導(dǎo)體材料在發(fā)光器件和光探測器件等方面具有廣闊應(yīng)用前景。寬禁帶半導(dǎo)體材料的金屬-半導(dǎo)體-金屬(MSM)結(jié)構(gòu)紫外光探測器因其制備工藝簡單、便于集成等優(yōu)點倍受關(guān)注。 本文根據(jù)MSM結(jié)構(gòu)紫外光探測器的工作原理，基于熱電子發(fā)射理論，研究了該結(jié)構(gòu)探測器的數(shù)學(xué)解析模型。通過對SiC的晶體結(jié)構(gòu)及其電學(xué)特性的研究，使用二維器件仿真軟件GENESISe建立了SiC材料MSM結(jié)構(gòu)紫外光探測器器件模型，對金屬叉指寬度和叉指間距均為2.5μm的器
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