適用于無(wú)軸承薄片電機(jī)的位移傳感器的研究.pdf

1、無(wú)軸承薄片電機(jī)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、可靠性高，特別是其無(wú)接觸、無(wú)磨損的特性，使無(wú)軸承薄片電機(jī)在超潔凈驅(qū)動(dòng)領(lǐng)域具有應(yīng)用優(yōu)勢(shì)。無(wú)軸承薄片電機(jī)總體成本中，所占比例最大的為傳感器。為了降低成本，使其盡快地應(yīng)用到實(shí)際生產(chǎn)中，本文對(duì)適用于無(wú)軸承薄片電機(jī)的低成本霍爾位移傳感器及高性能電渦流位移傳感器進(jìn)行了研究。 本文研究的霍爾位移傳感器分為閉合式與開(kāi)路式兩類。對(duì)閉合式霍爾位移傳感器進(jìn)行了理論推導(dǎo)，并利用有限元分析軟件ANSYS進(jìn)行了電磁場(chǎng)仿真，在增大固定

2、氣隙的基礎(chǔ)上改善了一類霍爾位移傳感器的線性度，實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示工作性能良好。在簡(jiǎn)化閉合式霍爾位移傳感器結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上得到了開(kāi)路式霍爾位移傳感器的設(shè)計(jì)思路，對(duì)磁場(chǎng)分布進(jìn)行了電磁場(chǎng)仿真，并通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量確定了開(kāi)路式霍爾位移傳感器結(jié)構(gòu)中關(guān)鍵部件的設(shè)計(jì)尺寸。另外研究了霍爾位移傳感器的動(dòng)態(tài)特性，研究表明該傳感器在20KHz的振動(dòng)頻率下基本不存在失真。 本文研究的電渦流位移傳感器采用了變頻調(diào)幅方式的前置器以及市場(chǎng)上現(xiàn)有的電渦流探頭。分析了電渦流位移