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文檔簡介
1、鐵電存儲器以其優(yōu)越的存儲特性得到了廣泛的關注,其中應用和研究最為廣泛的鐵電材料是鋯鈦酸鉛Pb(Zr1-xTix)O3(簡稱PZT)。PZ工具有較低的處理溫度(最低結晶溫度:450℃)和極高的自發(fā)極化強度(2Pr可達到60μc/cm2)吸引了人們廣泛的注意。但是PZT作為一種優(yōu)秀的鐵電材料,仍然存在以下幾方面的問題限制了它的應用與發(fā)展:極化疲勞;電荷保持時間短;印記效應。PZT的這三個問題就像鐵電存儲器應用天空上的三朵烏云,如果不破開這三
2、朵烏云,鐵電存儲器的研究將始終得不到發(fā)展,終將為歷史所遺棄。
國內(nèi)外學術界以及工業(yè)界為了克服PZT的這三大困難,提出了很多解決方案。最主要的解決方案有以下幾種:1,對PZT摻雜改性,如摻Ni。2,使用Bi系層狀結構鐵電材料,如SBT,BLT等代替PZT。3,使用金屬氧化物電極或其它也具有鈣鈦礦結構的導電化合物電極取代Pt電極,如IrO,LaNiO3。除了這些化學方面的改進外,人們普遍意識到在鐵電電容中電極和鐵電薄膜之間存在
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