2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、S546S5梗旦大學(xué)碩士學(xué)位論文(專業(yè)學(xué)位)學(xué)校代碼i】0246學(xué)號(hào)：043021158金屬硅化物遮蔽層應(yīng)用深紫外曝光的技術(shù)實(shí)現(xiàn)院系(所)：信息科學(xué)弓工程學(xué)院專姓業(yè)：電子與通信工程名：侯大維指導(dǎo)教師：於偉峰剮教授完成日期：2006年5月21臼Abstract：ThepaperdescribeSalicideBlock(SAB)processeffectinadvancesemiconductorprocessOnthetechnolog

2、yof018umnodeorbelow018umnode，theSABprocesswindowareminorornottheoptimizeconditionduetorelatedprocessmachine1imitInthiS，wewilldiSCUSStheSABprocessloop1imitiSsueoncurrentprocessflowandhowtosolveitandimprovetheSABloopproces

3、swindowTheprocessflowmodificationistheleastchangingonitafterthediscussionofthefeasibilityEitherthesideeffectfromtheflowchangingorthechangingpossibilityformassproductwillbethemostefficientandeasiestThereare]otsofexperimen

4、tsincludingfullloopprocessproductionexperimentThemodificationmethodiSfeasibleaftertheproofofthetheoryandexperimentsItcanbeappliedonmassproductiondirectlywithhighvalueontheproductionKeyWords：CVD(ChemicalVaporDeposition)，C

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