不同粒度氧化鋁陶瓷粉料的凝膠注模制備工藝的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、凝膠注模技術是近年來發(fā)展起來的一種陶瓷材料近凈尺寸成型工藝，被認為是純度高、形狀復雜陶瓷部件的最有發(fā)展前景的制備技術。本課題以半導體制造裝備中所需精細陶瓷部件為應用背景，以日本進口半導體行業(yè)所用的高純氧化鋁為初始粉料，研究了超細氧化鋁粉體以及不同粒徑氧化鋁混合粉體的凝膠注模制備工藝，系統(tǒng)探討了不同粒徑的粉體對料漿特性、生坯成型以及燒結的影響，并分析了燒結體的力學性能及其顯微結構，對用凝膠注模技術制備半導體制造裝備中的精細陶瓷部件進行了前

2、期探索。主要工作包括： 1)研究了不同粒度配比的氧化鋁料漿的制備，考察了粉體粒度、固相含量、料漿pH值、分散劑等因素對料漿粘度及流動性的影響，制備了凝膠注模用高固相含量(50vol﹪)、低粘度(108mPas)的料漿。料漿粘度隨粗顆粒氧化鋁比例的增加而略有下降。 2)考察了料漿中氧化鋁粒度組成、干燥工藝和方法對生坯膠凝及收縮變形的影響。實驗發(fā)現(xiàn)，利用濕石膏進行生坯的干燥是控制其收縮變形的有效方法。 3)研究了樣品

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