基于CMOS工藝的紅外線傳感器設計的分析與研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、紅外線感測器的應用范圍相當廣泛，無論是國防相關的導彈引導設備，商業(yè)相關的建筑物老化檢測，甚至與人民生活相關的醫(yī)療診斷系統(tǒng)都有其應用。本論文提出一利用微機電技術，通過TSMC0.35umCMOS工藝制造的新型熱電式紅外線感測器，采用熱電偶懸浮結構隱藏于紅外線吸收薄膜下方的設計方式，制作高填置率、高響應度及低噪聲等效溫差的紅外線感測器。另外，針對熱電偶材料選擇及結構設計部份做相關公式的計算仿真，由理論分析找出一組較具代表性的感測器性能規(guī)格。

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