激光束位置及角度偏差測量系統(tǒng).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、在對激光的測量領域，對激光束位置及角度的測量是非常重要的一部分。尤其是在需要精密對準的實驗中，對入射光束的位置和角度測量都要求極高的精度。同時，在對實時性要求較高的實驗中，由于儀器的移動以及更換將會對實驗結(jié)果產(chǎn)生嚴重的影響，這就要求儀器可以同時測量入射光束的位置和角度。本設計是一種基于位置敏感探測器(PSD)的測量系統(tǒng)，能夠同時對入射激光束進行位置測量和角度測量，可以滿足對激光束探測的同時性與高精度要求。本文首先介紹了國內(nèi)外當前對激光光

2、斑位置測量的發(fā)展狀況，比較了各種光斑位置測量方法的優(yōu)缺點，確定采用PSD作為本文系統(tǒng)設計的基礎，然后詳細地論述了采用PSD測量入射激光束的位置及角度的總體設計過程。本文詳細介紹了PSD傳感器的原理及信號處理電路，并對系統(tǒng)工作方式進行講解說明，分析系統(tǒng)測量精度的影響因素。顯示部分采用上位機虛擬儀器軟件LabVIEW(Laboratory Virtual Instrument Engineering Workbench)圖形化編程語言，可以

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