計算機集成制造系統(tǒng)（CIMS）中設(shè)備自動化（EAP）設(shè)計與開發(fā).pdf_第1頁
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文檔簡介

1、該文討論了半導(dǎo)體制造業(yè)CIMS工程中設(shè)備自動化系統(tǒng)(EAP)的設(shè)計與開發(fā).EAP系統(tǒng)主要功能是對生產(chǎn)線上機臺(Equipment)進行實時監(jiān)控,是實現(xiàn)生產(chǎn)自動化不可缺少的監(jiān)控系統(tǒng).經(jīng)過認(rèn)真地需求分析,該文中的EAP系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計為三個模塊,即EC、ED和Task flow.由于EAP面向外部系統(tǒng)通信協(xié)議不一樣,所以系統(tǒng)設(shè)計對外有兩個接口.EC模塊實現(xiàn)對外面向CIMS中的其它子系統(tǒng)的接口,采用RV通信格式;而ED實現(xiàn)了面向設(shè)備系統(tǒng)的接口,采

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