電熱微致動器的多能量域建模與仿真技術(shù)研究.pdf

1、微致動器(Microactuator)是微機電系統(tǒng)(MEMS)實現(xiàn)物理功能的關(guān)鍵器件，是MEMS應(yīng)用研究中的熱點。在IC工業(yè)中，先進的CAD系統(tǒng)己有效地用于集成電路的設(shè)計與仿真。但它們中的大部分卻不適用于微致動器的設(shè)計。由于微致動器是復(fù)雜的微機電系統(tǒng)，長期以來微致動器的設(shè)計不得不通過直接制造原型的方法來驗證設(shè)計，因此對于微致動器多能量域建模和模擬仿真技術(shù)正在不斷研究與探索。電熱微致動器是一種用途廣泛的典型電-熱-機械的多能量域集合器件，

2、研究電熱微致動器的多能量域建模和數(shù)值模擬，具有重要的理論意義和應(yīng)用價值。本文主要研究工作如下： (1)結(jié)合多學(xué)科知識，對雙熱臂電熱微致動器進行多能量域數(shù)學(xué)建模，用解析方法分析其溫度分布和位移特性； (2)利用ANSYS建立雙熱臂電熱微致動器的有限元模型，對其進行仿真分析，并與解析模型所得結(jié)果進行比較；利用ANSYS的內(nèi)部命令和APDL語言以及參數(shù)化技術(shù)建立雙熱臂電熱微致動器的有限元參數(shù)化模型，研究溫度場參數(shù)和結(jié)構(gòu)場參數(shù)對