SID關(guān)鍵制造技術(shù)的研究.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、本文首先介紹了靜電感應(yīng)晶體管SIT作用機(jī)理，在此基礎(chǔ)上系統(tǒng)分析了材料參數(shù)、工藝參數(shù)和結(jié)構(gòu)參數(shù)與器件電性能的關(guān)系。對(duì)各種特性間的制約關(guān)系做了適度的參數(shù)調(diào)節(jié)，對(duì)器件的版圖進(jìn)行了優(yōu)化調(diào)整，而且配合新版圖，設(shè)計(jì)了相應(yīng)的工藝方案，通過單項(xiàng)試驗(yàn)，得到了相應(yīng)工藝的最佳條件；對(duì)于外延層必須達(dá)到的工藝參數(shù)，提出了一系列減小或抑制外延過程中擴(kuò)散效應(yīng)和自摻雜效應(yīng)的工藝措施和方案，使外延層質(zhì)量有了明顯的提高；為了切斷柵極和源極(或陰極)之間在外延過程中形成的連

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