2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文基于AFM的微納尺度模板加工技術(shù)研究姓名：彭平申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：博士專業(yè)：機(jī)械制造及其自動(dòng)化指導(dǎo)教師：史鐵林；廖廣蘭；湯自榮201005華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文華中科技大學(xué)博士學(xué)位論文II行溝槽結(jié)構(gòu)，結(jié)合感應(yīng)耦合等離子刻蝕工藝制作了具有一定深寬比的亞微米結(jié)構(gòu)模板。AFM加工是一項(xiàng)非常有前景的微納制造方法。基于AFM的精密測(cè)量、微納加工、納米操縱、微納結(jié)構(gòu)修飾等都還在不斷地研究和發(fā)展之中。本文針對(duì)AFM機(jī)械刻劃加工和制

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