基于白光顯微干涉術(shù)的微輪廓檢測與三維重建.pdf

1、隨著大規(guī)模集成電路、微光學(xué)元件、微機(jī)械等技術(shù)的不斷發(fā)展，對微結(jié)構(gòu)表面形貌的測量顯得越來越重要。在各種微觀表面形貌測量方法中，光學(xué)測量法不僅能實現(xiàn)高精度的快速非接觸測量，而且系統(tǒng)結(jié)構(gòu)簡單，成本較低，因此在該領(lǐng)域受到了人們的極大關(guān)注，并得到了迅速發(fā)展。 白光掃描干涉測量是光學(xué)測量中一種非常重要的方法，與激光干涉測量相比不受相位模糊的影響。白光掃描干涉測量信息提取大多采用對比度法、移相法，而本文采用一種快速空間頻域算法，它具有噪聲抑制

2、能力強(qiáng)，數(shù)據(jù)利用效率高，光譜色散補(bǔ)償?shù)忍攸c，因而更適用于實際檢測系統(tǒng)。 首先，本論文設(shè)計和建立了微表面三維形貌檢測系統(tǒng)裝置，改善了照明成像系統(tǒng)，提高了干涉條紋的對比度；制作了PZT 專用驅(qū)動模塊并編寫了開環(huán)控制程序，保證了掃描系統(tǒng)的步進(jìn)精度。其次，分析了各種重建算法的優(yōu)缺點，并重點闡述了快速空間頻域算法的原理和實現(xiàn)方案。最后，采用MATLAB 軟件進(jìn)行數(shù)據(jù)處理和三維重建，獲得了光纖連接器的表面輪廓。 實驗表明，所設(shè)計的一