EB-PVD電子束控制電路研究.pdf

1、伴隨著科技的發(fā)展,航空航天技術逐漸成為各個大國爭奪的技術制高點。主要大國對各種超高速的飛行器研制從來沒有停止過。高速飛行器的熱防護技術成為研制飛行器的關鍵技術之一。因而,熱障涂層的研制成為材料學的熱點。目前常用的涂層制備方法有:化學氣相沉積法,等離子噴涂法,磁控濺射法和EB-PVB沉積法。而EB-PVD技術以其獨特的優(yōu)勢成為制備熱障涂層不可或缺的技術之一。
　　 EB-PVD設備是依賴電子槍發(fā)射的電子束工作的,因而對電子束的控制

2、成為整個控制系統(tǒng)中重要的一環(huán)。對電子束的控制分為功率控制和掃描圖形發(fā)生控制兩部分。
　　 本文結合電子槍的原理分析了各種功率控制方案的優(yōu)劣。依據(jù)自動控制理論設計了電子束功率控制電路,并采用模糊自適應PID控制方案對功率控制電路進行了探究,提高了功率控制的穩(wěn)定性和可靠性。另外,作者結合電子光學原理和數(shù)學原理分析了電子束掃描圖形的發(fā)生原理并設計了電子束掃描控制電路。通過結合電路理論和實際經(jīng)驗提出了電路抗干擾的結構性設計和電磁兼容性設