溶膠-凝膠法制備摻鉺光波導(dǎo)放大器.pdf

1、摻鉺光波導(dǎo)放大器(EDWA)是一種重要的光子學(xué)器件,在光通信網(wǎng)絡(luò),尤其是在城域網(wǎng)和局域網(wǎng)光通信系統(tǒng)的發(fā)展過程中將起到重要的作用。在諸多制備EDWA的方法中,溶膠-凝膠法由于其制備工藝簡單、處理溫度低、摻雜方便、摻雜均勻性好等特點近年來受到了相當(dāng)?shù)闹匾?。本論文進(jìn)行了在硅基板上利用溶膠-凝膠法制備摻鉺二氧化硅薄膜材料的研究;利用濕法刻蝕工藝制作光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)并進(jìn)而制備出EDWA。
　　 主要結(jié)果包括:
　　 1.利用溶膠-凝膠法

2、制備了折射率、厚度分別為1.466～1.468和5～6μm的摻有0.5mol％Er3+,0.5mol％Yb3+,10mol％P2O5,2.5mol％Al2O3的二氧化硅薄膜,薄膜的表面粗糙度為0.139nm,薄膜的熒光量子效率為30％,表明該薄膜基本滿足制備摻鉺光波導(dǎo)的條件。
　　 2.設(shè)計了一種新的波導(dǎo)結(jié)構(gòu)。利用BeamPROP軟件對信號光和泵浦光在波導(dǎo)內(nèi)傳輸?shù)哪龇植歼M(jìn)行了模擬,計算了不同波導(dǎo)參數(shù)下信號光與泵浦光在波導(dǎo)芯層內(nèi)